[发明专利]冷却板、蒸镀装置及显示面板在审
| 申请号： | 201910249109.1 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN109913819A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 沐俊应;李们在 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种冷却板、蒸镀装置及显示面板。该冷却板包括冷却板主体，所述冷却板主体上具有冷却作用的冷却面，所述冷却面上设置有网状凸起。本发明实施例中通过冷却板上设置的联通的网状结构的网状凸起，更快速进行热传导，通过冷却板可更及时从基板上带走蒸镀过程中堆积的热量，削弱基板上温度不均匀、温度梯度的程度、改善因基板上温度不均匀在镀膜过程中产生的Mura，同时可在显示面板公共阴极层金属膜表面形成网状凸起物，可改善显示器件金属膜导电性，改善电压降。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却板 网状凸起 显示面板 基板 冷却板主体 蒸镀装置 不均匀 导电性 金属膜表面 镀膜过程 公共阴极 冷却作用 网状结构 温度梯度 显示器件 电压降 金属膜 冷却面 热传导 联通 蒸镀 堆积 冷却 削弱 | ||
【主权项】：
1.一种冷却板，其特征在于，所述冷却板包括冷却板主体，所述冷却板主体上具有冷却作用的冷却面，所述冷却面上设置有网状凸起。
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