[发明专利]冷却板、蒸镀装置及显示面板

说明书

本发明实施例公开了一种冷却板、蒸镀装置及显示面板。该冷却板包括冷却板主体，所述冷却板主体上具有冷却作用的冷却面，所述冷却面上设置有网状凸起。本发明实施例中通过冷却板上设置的联通的网状结构的网状凸起，更快速进行热传导，通过冷却板可更及时从基板上带走蒸镀过程中堆积的热量，削弱基板上温度不均匀、温度梯度的程度、改善因基板上温度不均匀在镀膜过程中产生的Mura，同时可在显示面板公共阴极层金属膜表面形成网状凸起物，可改善显示器件金属膜导电性，改善电压降。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种冷却板、蒸镀装置及显示面板。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示技术较之当前主流的液晶显示技术，具有对比度高、色域广、柔性、轻薄、节能等突出优点。近年来OLED显示技术逐渐在智能手机和平板电脑等移动设备、智能手表等柔性可穿戴设备、大尺寸曲面电视、白光照明设备等领域普及，发展势头强劲。

OLED显示技术主要包括以真空蒸镀技术为基础的小分子OLED技术和以溶液制程为基础的高分子OLED技术。蒸镀机是当前已量产的小分子OLED器件生产的主要设备，其设备核心部分为蒸发源装置，分为点蒸发源、线蒸发源、面蒸发源等。线蒸发源为当前重要的OLED量产技术，主要分为一体式线蒸发源和输送式线蒸发源。

一般来说，蒸镀机对位机构包括放置于遮光罩载物台(Mask Stage)上的Mask(蒸镀掩膜板)、放置于基板载物台(Substrate Stage)上的基板(Substrate)，放置于基板上的冷却板(Cooling Plate)。

对于普通平面型冷却板直接与基板接触，可能发生基板黏着在冷却板上，镀膜结束后无法分离；而现有技术附带凸起物的冷却板通过附带分散的点状凸起物与基板接触，可有效避免基板黏着在冷却板上的问题。但是，对于金属等材料的镀膜，蒸发源温度高，传输到基板上的热量，难以通过冷却板及时从基板上带走，造成基板温度偏高。此时基板上凸起物与基板接触的部分温度偏低、周围温度偏高，沿着点状凸起物形成温度梯度，受温度梯度的影响，在镀膜初期基板上凸起物对应位置蒸汽粒子聚集量更多；在镀膜末期，基板上凸起物对应位置膜厚偏高，形成厚度梯度，在凸起物对应位置形成Mura。

发明内容

本发明实施例提供一种冷却板、蒸镀装置及显示面板，通过冷却板可更及时从基板上带走蒸镀过程中堆积的热量，削弱基板上温度不均匀、温度梯度的程度、改善因基板上温度不均匀在镀膜过程中产生的Mura，同时可在基板表面形成网状凸起物，可改善显示器件金属膜导电性，改善电压降。

为解决上述问题，第一方面，本申请本发明一种冷却板，所述冷却板包括冷却板主体，所述冷却板主体上具有冷却作用的冷却面，所述冷却面上设置有网状凸起。

进一步的，所述网状凸起包括相互交叉的横向凸起线和纵向凸起线。

进一步的，所述冷却板主体为导体材质，且所述冷却板主体接地。

进一步的，所述导体材质为铜。

第二方面，本申请提供一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括如第一方面中任一所述的冷却板。

第三方面，本申请提供一种显示面板，所述显示面板包括基板和形成于所述基板上方的公共阴极层，所述公共阴极层部分或全部金属膜表面形成网状凸起。

进一步的，所述网状凸起包括相互交叉的横向凸起线和纵向凸起线。

进一步的，所述横向凸起线和所述纵向凸起线均包括底部金属膜，在所述横向凸起线和所述纵向凸起线的交叉点位置形成高于所述底部金属膜的金属膜隆起。

进一步的，所述金属膜隆起上远离所述基板的表面为曲面。

进一步的，所述金属膜隆起为半球，所述半球中的曲面远离所述基板设置。