[发明专利]微流体致动器模块有效
| 申请号： | 201910247879.2 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN111750142B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;余荣侯;张正明;戴贤忠;廖文雄;黄启峰;韩永隆;李伟铭 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K11/20 | 分类号： | F16K11/20;F16K31/02;F15B13/02 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂慧荃;郑特强 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微流体致动器模块，包含：一第一基板，通过蚀刻制程形成多个流体出口以及多个喷口；一第一光阻层，通过显影制程形成一连通流道；一阀层，通过蚀刻制程形成多个出口阀以及多个入口阀；一第二基板，通过蚀刻制程定义多个振动区；一第二光阻层，通过滚压制程形成于该第二基板上，通过显影制程与第二基板共同形成多个振动腔室；一压电层，通过切割制程定义多个致动区；以及一电极层，具有多个上电极区以及多个下电极区。提供驱动电源驱动振动区产生往复式位移，使流体自连通流道吸入，再由喷口排出以完成流体传输。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 致动器 模块 | ||
【主权项】：
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