[发明专利]弹性波装置有效
| 申请号： | 201910247816.7 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN110324021B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 山根毅;高井努;竹下彻 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李国华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种弹性波装置，更加难以产生布线电极的断线且可靠性更加优异。弹性波装置(1)在支承基板(2)上层叠有包含压电薄膜4的层叠膜(3)。在设置有IDT电极的区域的外侧的区域(R)，局部地不存在层叠膜(3)。第一绝缘层(12)设置为从不存在该层叠膜(3)的区域(R)的至少一部分到达压电薄膜(4)上。布线电极(6a)设置为从压电薄膜(4)上到达第一绝缘层(12)上，且到达位于区域(R)的第一绝缘层部分上。另外，在支承基板(2)上设置有具有用于构成中空空间的开口部的支承层(8)。支承层(8)在布线电极(6a)上具有从不存在层叠膜(3)的区域(R)到达第一绝缘层(12)的内侧端(12c)的上方的部分。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 装置 | ||
【主权项】：
1.一种弹性波装置，具备：支承基板；层叠膜，其设置于所述支承基板或所述支承基板的上方，且具有包含压电薄膜的多个膜；IDT电极，其设置于所述压电薄膜的一个面；第一绝缘层，在俯视下，在设置有所述IDT电极的区域的外侧的区域，局部地不存在所述层叠膜，该第一绝缘层设置为从不存在所述层叠膜的区域的至少一部分到达所述压电薄膜上；布线电极，其与所述IDT电极电连接，该布线电极从所述压电薄膜上的一个区域到达所述第一绝缘层上，且到达位于不存在所述层叠膜的区域的所述第一绝缘层部分上；以及支承层，其设置于所述支承基板或所述支承基板的上方，且具有用于构成中空空间的开口部，所述支承层在所述布线电极上具有从不存在所述层叠膜的区域到达位于所述压电薄膜上的所述第一绝缘层的内侧端的上方的部分。
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