[发明专利]弹性波装置

说明书

提供一种弹性波装置，更加难以产生布线电极的断线且可靠性更加优异。弹性波装置(1)在支承基板(2)上层叠有包含压电薄膜4的层叠膜(3)。在设置有IDT电极的区域的外侧的区域(R)，局部地不存在层叠膜(3)。第一绝缘层(12)设置为从不存在该层叠膜(3)的区域(R)的至少一部分到达压电薄膜(4)上。布线电极(6a)设置为从压电薄膜(4)上到达第一绝缘层(12)上，且到达位于区域(R)的第一绝缘层部分上。另外，在支承基板(2)上设置有具有用于构成中空空间的开口部的支承层(8)。支承层(8)在布线电极(6a)上具有从不存在层叠膜(3)的区域(R)到达第一绝缘层(12)的内侧端(12c)的上方的部分。

技术领域

本发明涉及在支承基板上设置有层叠膜的弹性波装置，该层叠膜具有包含压电薄膜的多个膜。

背景技术

以往，弹性波装置广泛用于便携式电话机的滤波器等。

作为这样的弹性波装置的一例，在下述的专利文献1中公开了一种在支承基板上设置有层叠膜的弹性波装置，该层叠膜具有包含压电薄膜的多个膜。在该弹性波装置中，在设置有IDT电极的区域的外侧的区域，局部地不存在层叠膜。而且，将绝缘层设置为从不存在层叠膜的区域的至少一部分到达压电薄膜上。另外，将布线电极设置为从压电薄膜上到达绝缘层、且到达位于不存在层叠膜的区域的绝缘层部分上。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2016/208428号小册子

发明内容

发明要解决的课题

在专利文献1所记载的弹性波装置中，由于具备上述那样的结构，因此，难以产生压电薄膜的破裂、缺损，并且难以产生层叠膜上的界面剥离，进而难以产生布线电极的断线。

然而，近年来，要求在重复低温至高温的循环这样的严酷条件下也难以产生布线电极的断线的弹性波装置，对弹性波装置要求的要求性能日益提高。

本发明的目的在于，提供一种更加难以产生布线电极的断线、可靠性更加优异的弹性波装置。

用于解决课题的手段

本发明的弹性波装置具备：支承基板；层叠膜，其设置于所述支承基板或所述支承基板的上方，且具有包含压电薄膜的多个膜；IDT电极，其设置于所述压电薄膜的一个面；第一绝缘层，在俯视下，在设置有所述IDT电极的区域的外侧的区域，局部地不存在所述层叠膜，该第一绝缘层设置为从不存在所述层叠膜的区域的至少一部分到达所述压电薄膜上；布线电极，其与所述IDT电极电连接，该布线电极从所述压电薄膜上的一个区域到达所述第一绝缘层上，且到达位于不存在所述层叠膜的区域的所述第一绝缘层部分上；以及支承层，其设置于所述支承基板或所述支承基板的上方，且具有用于构成中空空间的开口部，所述支承层在所述布线电极上具有从不存在所述层叠膜的区域到达位于所述压电薄膜上的所述第一绝缘层的内侧端的上方的部分。

在本发明的弹性波装置的某一特定方面，所述支承层在所述布线电极上具有从不存在所述层叠膜的区域到达比位于所述压电薄膜上的所述第一绝缘层的内侧端靠内侧的位置的部分。

在本发明的弹性波装置的另一特定方面，所述第一绝缘层从不存在所述层叠膜的区域的至少一部分起，通过所述层叠膜的侧面而到达所述压电薄膜上。

在本发明的弹性波装置的又一特定方面，所述第一绝缘层的与所述支承基板侧相反的一侧的面具有第一倾斜面，该第一倾斜面倾斜为随着从不存在所述层叠膜的区域接近位于所述压电薄膜上的部分而远离所述支承基板侧。

在本发明的弹性波装置的又一特定方面，所述第一绝缘层的所述第一倾斜面从所述支承基板上到达所述压电薄膜上的所述第一绝缘层的一个区域。

在本发明的弹性波装置的又一特定方面，所述第一绝缘层从所述第一倾斜面到达不存在所述层叠膜的区域的至少一部分。