[发明专利]摄像面板

摘要

不使闪烁光的检测精度降低地抑制制造成本并抑制水分向摄像面板的侵入。摄像面板(1)具备：有源矩阵基板(1a)，其在各像素中具备光电转换元件；闪烁器(1b)，其设置于有源矩阵基板的表面；防湿材料(212)，其覆盖闪烁器整体；以及粘接层(211)，其将防湿材料与闪烁器及有源矩阵基板之间粘接。有源矩阵基板具备：第1平坦化膜(108)，其设置于像素区域和像素区域外侧，包括感光性树脂膜；以及第1无机膜(109)，其至少在像素区域的外侧设置于第1平坦化膜与闪烁器之间，俯视时与闪烁器的整个区域重叠，并与第1平坦化膜接触。在第1无机膜上，俯视时与闪烁器重叠的区域的外侧的至少一部分区域被粘接层覆盖。

主权项

1.一种摄像面板，其特征在于，具备：有源矩阵基板，其具有包含多个像素的像素区域，在上述多个像素的每一个像素中具备光电转换元件；闪烁器，其设置于上述有源矩阵基板的表面，将X射线转换为闪烁光；防湿材料，其覆盖上述闪烁器的整体；以及粘接层，其将上述防湿材料与上述闪烁器及上述有源矩阵基板的表面之间粘接，上述有源矩阵基板具备：第1平坦化膜，其设置于上述像素区域和上述像素区域的外侧，包括感光性树脂膜；以及第1无机膜，其至少在上述像素区域的外侧设置于上述第1平坦化膜与上述闪烁器之间，俯视时与设置有上述闪烁器的整个区域重叠，并且与上述第1平坦化膜接触，在上述第1无机膜上，俯视时与上述闪烁器重叠的区域的外侧的至少一部分区域被上述粘接层覆盖。