[发明专利]摄像面板

说明书

不使闪烁光的检测精度降低地抑制制造成本并抑制水分向摄像面板的侵入。摄像面板(1)具备：有源矩阵基板(1a)，其在各像素中具备光电转换元件；闪烁器(1b)，其设置于有源矩阵基板的表面；防湿材料(212)，其覆盖闪烁器整体；以及粘接层(211)，其将防湿材料与闪烁器及有源矩阵基板之间粘接。有源矩阵基板具备：第1平坦化膜(108)，其设置于像素区域和像素区域外侧，包括感光性树脂膜；以及第1无机膜(109)，其至少在像素区域的外侧设置于第1平坦化膜与闪烁器之间，俯视时与闪烁器的整个区域重叠，并与第1平坦化膜接触。在第1无机膜上，俯视时与闪烁器重叠的区域的外侧的至少一部分区域被粘接层覆盖。

技术领域

本发明涉及摄像面板。

背景技术

以往以来，在X射线摄像装置中使用按每一像素具备与开关元件连接的光电转换元件的有源矩阵基板。在下述专利文献1中，公开了抑制水分向这种X射线摄像装置侵入的技术。该专利文献1的X射线摄像装置抑制水分经由将防湿保护层和光电转换基板粘接的粘接剂的侵入，上述防湿保护层保护设置于光电转换基板上的荧光体层。具体地，在光电转换基板上设置包括聚酰亚胺等的表面有机膜，沿着荧光体层的外周将埋入了树脂的槽部设置于表面有机膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特许第6074111号公报

发明内容

发明要解决的问题

在上述专利文献1中，将具有防湿效果的表面有机膜设置于光电转换基板上，在表面有机膜中设置埋入了树脂的槽部，因此，不易发生粘接剂的积液，水分不易侵入光电转换基板。因此，能够在某种程度上抑制水分从光电转换基板向荧光体层的侵入。然而，虽然例如数10μm的聚酰亚胺等的表面有机膜有防湿效果，但是由于吸收闪烁光的波段，因此，闪烁光的检测精度下降。

本发明提供一种能够不使闪烁光的检测精度下降地抑制水分向摄像面板的侵入的技术。

用于解决问题的方案

解决上述问题的本发明的摄像面板具备：有源矩阵基板，其具有包含多个像素的像素区域，在上述多个像素的每一个像素中具备光电转换元件；闪烁器，其设置于上述有源矩阵基板的表面，将X射线转换为闪烁光；防湿材料，其覆盖上述闪烁器的整体；以及粘接层，其将上述防湿材料与上述闪烁器及上述有源矩阵基板的表面之间粘接，上述有源矩阵基板具备：第1平坦化膜，其设置于上述像素区域和上述像素区域的外侧，包括感光性树脂膜；以及第1无机膜，其至少在上述像素区域的外侧设置于上述第1平坦化膜与上述闪烁器之间，俯视时与设置有上述闪烁器的整个区域重叠，并且与上述第1平坦化膜接触，在上述第1无机膜上，俯视时与上述闪烁器重叠的区域的外侧的至少一部分区域被上述粘接层覆盖。

发明效果

根据本发明，能够不使闪烁光的检测精度下降地抑制水分向摄像面板的侵入。

附图说明

图1是表示第1实施方式的X射线摄像装置的示意图。

图2是表示图1所示的有源矩阵基板的概略构成的示意图。

图3是将图2所示的有源矩阵基板的设置有像素的像素部的一部分放大后的俯视图。

图4A是图3的像素部的A-A线的截面图。

图4B是图1所示的摄像面板的像素部的截面图。

图5A是图1所示的摄像面板的概略俯视图。

图5B是图5A所示的B-B线的截面图。