[发明专利]一种新型的耐久导电探针头涂层在审
| 申请号： | 201910239117.8 | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN110016643A | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 胡超权;李元恺;田宏伟;郑伟涛 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人： | 段红玉 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及涉及薄膜技术领域，具体涉及一种新型的耐久导电探针头涂层；以HfN作为母体，通过合金化形式引入适量的Ag，形成Ag纳米颗粒镶嵌的Hf‑Ag‑N固溶体膜，本发明提供一种Ag纳米颗粒镶嵌Hf‑Ag‑N固溶体涂层，获得了接近N掺杂DLC的高硬度(32.4GPa)、接近Pt‑Ir合金的高电导率(4.07×106S/m)以及杰出的耐磨性(磨损率为9×10‑7mm3/(Nm))。 | ||
| 搜索关键词： | 导电探针 镶嵌 薄膜技术领域 耐磨性 高电导率 固溶体膜 高硬度 固溶体 合金化 磨损率 母体 合金 引入 | ||
【主权项】：
1.一种新型的耐久导电探针头涂层，其特征在于：以HfN作为母体，通过合金化形式引入适量的Ag，形成Ag纳米颗粒镶嵌的Hf‑Ag‑N固溶体膜；该Hf‑Ag‑N固溶体膜包含两相：面心立方相Ag，岩盐相Hf‑Ag‑N固溶体；Hf‑Ag‑N固溶体膜的膜厚为620nm。
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