[发明专利]一种新型的耐久导电探针头涂层在审
| 申请号： | 201910239117.8 | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN110016643A | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 胡超权;李元恺;田宏伟;郑伟涛 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人： | 段红玉 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导电探针 镶嵌 薄膜技术领域 耐磨性 高电导率 固溶体膜 高硬度 固溶体 合金化 磨损率 母体 合金 引入 | ||
1.一种新型的耐久导电探针头涂层，其特征在于：以HfN作为母体，通过合金化形式引入适量的Ag，形成Ag纳米颗粒镶嵌的Hf-Ag-N固溶体膜；
该Hf-Ag-N固溶体膜包含两相：面心立方相Ag，岩盐相Hf-Ag-N固溶体；Hf-Ag-N固溶体膜的膜厚为620nm。
2.根据权利要求1所述的一种新型的耐久导电探针头涂层，其特征在于，其制备方法包括以下步骤：
(1)溅射实验前衬底预处理：单晶Si(100)和玻璃衬底放入真空室之前，用丙酮、无水乙醇、蒸馏水依次超声清洗后吹干；
(2)衬底预热与预溅射：当真空室达到本底真空度后，衬底加温到预设温度且保持30min，Hf和Ag靶材单晶Si(100)和玻璃衬底上，Hf和Ag靶材在纯Ar气条件下预溅射5min；
(3)正式溅射实验：调整靶基距、工作压强、衬底偏压和温度分别固定在70mm、1.0Pa、-160V和200℃，通过Ar和N2的混合放电气体溅射沉积，即得耐久导电探针头涂层。
3.根据权利要求1所述的一种新型的耐久导电探针头涂层，其特征在于：所述Ag纳米颗粒的尺寸为9-11nm。
4.根据权利要求1所述的一种新型的耐久导电探针头涂层，其特征在于：所述岩盐相Hf-Ag-N固溶体的晶粒尺寸为7-9nm。
5.根据权利要求1所述的一种新型的耐久导电探针头涂层，其特征在于：所述Ag相在岩盐相中的占比为7-9％。
6.根据权利要求2所述的一种新型的耐久导电探针头涂层的制备方法，其特征在于：所述溅射沉积时间为18min。
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