[发明专利]一种原位制备超粗糙薄膜的方法有效
| 申请号： | 201910239106.X | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN109943818B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 胡超权;杨忠博;张侃;郑伟涛 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人： | 段红玉 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜技术领域，具体涉及一种制备超粗糙表面的方法；本发明通过引入适量的与母体材料不润湿的原子等手段，促进上坡扩散将粗化速率大幅度的增加，进而制备出了母体材料结构不变的超粗糙的薄膜；本发明提出的原位制备超粗糙膜的方法，制备工艺简单、效率高，制备出的薄膜不仅表面粗糙而且均匀稳定，膜厚控制在了4μm以下，广泛的适用于各种对粗糙表面有需求的涂层应用，比如细胞培养基，防雾玻璃等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原位 制备 粗糙 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种原位制备超粗糙薄膜的方法，包括母体材料，其特征在于:引入与母体材料不润湿的原子并施加适当的离子轰击，且制备出的超粗糙薄膜没有改变母体材料的结构。
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