[发明专利]掩膜版及其制造方法有效
| 申请号： | 201910236516.9 | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN109913804B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 张微 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C25D5/02;C25D7/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 杨广宇 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种掩膜版及其制造方法，属于显示技术领域。所述掩膜版用于通过蒸镀工艺制备显示屏母板，显示屏母板包括显示屏，显示屏具有显示区域和位于显示区域周围的非显示区域，掩膜版包括：导电掩膜基板，以及位于导电掩膜基板一侧的金属膜层，导电掩膜基板设置有开口，开口的大小和形状与显示区域的大小和形状均相等；导电掩膜基板具有第一区域和第二区域，第一区域围绕开口且与开口邻接，第一区域的尺寸大于或等于非显示区域的尺寸，金属膜层在导电掩膜基板上的正投影与第二区域重合。本申请解决了采用掩膜版进行蒸镀形成的图案误差较大，精准度较低的问题。本申请用于制备显示屏母板。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜版，其特征在于，所述掩膜版用于通过蒸镀工艺制备显示屏母板，所述显示屏母板包括显示屏，所述显示屏具有显示区域和位于所述显示区域周围的非显示区域，所述掩膜版包括：导电掩膜基板，以及位于所述导电掩膜基板一侧的金属膜层，所述导电掩膜基板设置有开口，所述开口的大小和形状与所述显示区域的大小和形状均相等；所述导电掩膜基板具有第一区域和第二区域，所述第一区域围绕所述开口且与所述开口邻接，所述第一区域的尺寸大于或等于所述非显示区域的尺寸，所述金属膜层在所述导电掩膜基板上的正投影与所述第二区域重合。
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