[发明专利]一种制备无机闪烁体膜的方法

摘要

本发明公开了一种制备无机闪烁体膜的方法，该方法是以AxByXz粉末原料为蒸发源，利用物质升华的原理，先对放有原料和基底的沉积腔体进行抽真空处理，然后在真空环境下对原料和基底进行加热，使AxByXz材料沉积在基底上，从而得到AxByXz无机闪烁体膜；其中A为一价碱金属阳离子；B为Cu,Ag中的任意一种；X为一价卤素阴离子；x:y:z满足1:1:2、1:2:3、2:1:3或3:2:5。本发明制备方法不仅操作简单、沉积速率快、成本低廉、可大面积批量合成，而且得到的无机闪烁体膜层均匀致密、结晶度高、取向性好、与基底附着力强、X射线响应性能优异。本发明为无机闪烁体厚膜的制备提供了有效的解决方案，进而为后端的闪烁体探测器的集成化提供了有效的手段，市场应用潜力巨大。

主权项

1.一种制备无机闪烁体膜的方法，其特征在于，该方法是以A_xB_yX_z粉末原料为蒸发源，利用物质升华的原理，先对放有原料和基底的沉积腔体进行抽真空处理，然后在真空环境下对原料和基底进行加热，使A_xB_yX_z材料沉积在基底上，从而得到A_xB_yX_z无机闪烁体膜；其中，对于所述的A_xB_yX_z粉末原料，A为一价碱金属阳离子；B为Cu,Ag中的任意一种；X为一价卤素阴离子；所述A_xB_yX_z粉末原料中，x:y:z满足1:1:2、1:2:3、2:1:3或3:2:5；所述的原料加热的目标保温温度T₂高于所述基底的目标保温温度T₀，且所述基底的目标保温温度T₀低于A_xB_yX_z的熔点。