[发明专利]石英玻璃坩埚以及石英玻璃坩埚的制造方法在审
| 申请号： | 201910226503.3 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN110295393A | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 八木洋贵 | 申请（专利权）人： | 阔斯泰公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06;C03B19/09;C03B20/00 |
| 代理公司： | 北京奉思知识产权代理有限公司 11464 | 代理人： | 邹轶鲛;石红艳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种石英玻璃坩埚及石英玻璃坩埚的制造方法，该石英玻璃坩埚在单晶硅的制造中使用，并且具有底部和侧壁的有底圆筒状，所述石英玻璃坩埚的特征在于，在使所述侧壁的上端面与台板接触时产生的台板与上端面的间隙在所述上端面的整个区域上为0.5mm以下的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃坩埚 上端 侧壁 台板 制造 单晶硅 整个区域 上端面 圆筒状 | ||
【主权项】：
1.一种石英玻璃坩埚，是被用在单晶硅的制造中且具有底部和侧壁的有底圆筒状的石英玻璃坩埚，其特征在于，在使所述侧壁的上端面与台板接触时产生的台板与上端面的间隙在所述上端面的整个区域处于0.5mm以下的范围内。
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