[发明专利]石英玻璃坩埚以及石英玻璃坩埚的制造方法

说明书

本发明涉及一种石英玻璃坩埚及石英玻璃坩埚的制造方法，该石英玻璃坩埚在单晶硅的制造中使用，并且具有底部和侧壁的有底圆筒状，所述石英玻璃坩埚的特征在于，在使所述侧壁的上端面与台板接触时产生的台板与上端面的间隙在所述上端面的整个区域上为0.5mm以下的范围内。

技术领域

本发明涉及一种在单晶硅的制造中使用的石英玻璃坩埚以及石英玻璃坩埚的制造方法。

背景技术

在单晶硅的制造中，广泛使用切克劳斯基法(Czochralski method)。该方法通过使晶种与已收容在石英玻璃坩埚中的原料硅熔液的表面接触，并且一边在使石英玻璃坩埚旋转的同时使晶种向相反方向旋转，一边将晶种向上拉，从而在晶种的下端培育单晶锭。

对于用于收容该原料硅熔液的石英玻璃坩埚，例如，使用具有双层结构的石英玻璃坩埚，该石英玻璃坩埚具有：由耐热性优异的天然石英玻璃形成的外侧层和由高纯度的合成石英玻璃形成的内侧层。

作为这种石英玻璃坩埚的制造方法，已知有旋转模塑法。

在该旋转模塑法中，利用离心力将合成石英玻璃和天然石英玻璃的原料粉末分别层叠形成在旋转的模具的侧壁和底面上，并且，利用电弧使该成形体加热熔融而玻璃化。

以该旋转模塑法形成的石英玻璃坩埚的高度尺寸形成得比要求尺寸高，并且，在用电弧加热熔融而玻璃化之后，切断开口部的侧壁，以使得高度成为要求尺寸，得到所要求的高度尺寸的石英玻璃坩埚。

然而，在搬运该石英玻璃坩埚时，使用覆盖石英玻璃坩埚上部的开口部的盖状的夹具。

该石英玻璃坩埚搬运用夹具通过将盖状的夹具覆盖在石英玻璃坩埚上部的开口部，并对石英玻璃坩埚的内部进行减压，从而吸附石英玻璃坩埚，进行搬运(例如，参考专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利申请特开2005-281028号公报

发明内容

发明欲解决的技术问题

然而，如上所述，在通过切断石英玻璃坩埚上部的开口部的侧壁来得到所要求的高度尺寸时，在开口部的端面(侧壁的上端面)可能会发生翘曲。

即，理想的是，石英玻璃坩埚的开口部的端面(侧壁的上端面)的切断面在整周上处于同一平面(同一高度)，但是存在如下问题：开口部的端面(侧壁的上端面)的一部分切断面与其它部分之间产生偏移，石英玻璃坩埚的开口部的端面(侧壁的上端面)的切断面不在同一平面(同一高度)上。

此外，在实施使石英玻璃坩埚再次进行电弧熔融(Re-Arc)等热处理的情况下，也存在如下问题：由于热处理的影响而在开口部的端面产生翘曲，石英玻璃坩埚的开口部的端面(侧壁的上端面)在整周上不在同一平面(同一高度)上。

这样，当石英玻璃坩埚的开口部的端面(侧壁的上端面)的切断面在整周上不在同一平面(同一高度)上时，与覆盖开口部的盖状的石英玻璃坩埚搬运用夹具之间会产生间隙。

其结果，存在诸如以下问题：即使利用石英玻璃坩埚搬运用夹具，也不能对石英玻璃坩埚的内部充分减压，难以吊起石英玻璃坩埚，另外，石英玻璃坩埚在搬运过程中会脱落等。

本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于提供一种能够可靠地吸附于石英玻璃坩埚搬运用夹具的石英玻璃坩埚及石英玻璃坩埚的制造方法。

用于解决问题的技术手段

为了实现上述目的而实施的本发明所涉及的石英玻璃坩埚是被用在单晶硅的制造中且具有底部和侧壁的有底圆筒状的石英玻璃坩埚，其特征在于，在使所述侧壁的上端面与台板接触时产生的台板与上端面的间隙在所述上端面的整个区域处于0.5mm以下的范围内。