[发明专利]一种金属绝缘层金属结构的产热时间提取方法有效

专利信息
申请号: 201910214258.4 申请日: 2019-03-20
公开(公告)号: CN109994145B 公开(公告)日: 2020-12-08
发明(设计)人: 赵毅;高世凡;陈冰 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: G11C29/50 分类号: G11C29/50
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 刘静;邱启旺
地址: 310058 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种金属绝缘层金属结构的产热时间提取方法。本发明通过使用超快电压脉冲,使得器件可以发生本征电击穿。改变脉冲时间宽度,可以调节器件在击穿过程中的温度,并使得器件发生热击穿。将超快脉冲的结果和低速脉冲的结果对比,击穿电压和脉冲宽度的关系中的拐点记为器件的产热时间常数。本发明基于击穿的发生机理,因而对于各种寄生效应较不敏感,具有较高的鲁棒性。本发明方法能够得到较为准确的产热时间常数,将有助于电路设计中的热仿真,从而改进电路的可靠性。
搜索关键词: 一种 金属 绝缘 金属结构 时间 提取 方法
【主权项】:
1.一种金属绝缘层金属结构的产热时间提取方法,其特征在于,所述方法包括:在需要表征的金属绝缘层金属结构器件中,加载电压脉冲;固定所述电压脉冲的时间宽度,不断增大所述电压脉冲的幅值,直到幅值满足使所述金属绝缘层金属结构达到在所述时间宽度击穿的条件;更换金属绝缘层金属结构器件,变化所述电压脉冲的所述时间宽度,重复所述击穿过程;提取所述击穿幅值与所述时间宽度的关系;提取所述关系的拐点,其对应的时间即为所述结构的产热时间常数。
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