[发明专利]一种金属绝缘层金属结构的产热时间提取方法

权利要求书

1.一种金属绝缘层金属结构的产热时间提取方法，其特征在于，所述方法包括：

在需要表征的金属绝缘层金属结构器件中，加载电压脉冲；

固定所述电压脉冲的时间宽度，不断增大所述电压脉冲的幅值，直到幅值满足使所述金属绝缘层金属结构达到在所述时间宽度击穿的条件；

更换金属绝缘层金属结构器件，变化所述电压脉冲的所述时间宽度，重复所述击穿过程；

提取所述击穿幅值与所述时间宽度的关系；

提取所述关系的拐点，其对应的时间即为所述结构的产热时间常数。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在增大所述电压脉冲的幅值时，相邻电压脉冲相隔时间远大于所述时间宽度。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在所述相邻电压的相隔时间阶段加载读取电压以获取所述器件的状态，且所述读取电压远小于所述电压脉冲的所述幅值。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，最终的提取结果应满足，所述电压脉冲的所述时间宽度的最小值远小于所述产热时间常数的条件。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述器件的绝缘层具有均一性。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述拐点是，对于所述关系的低电压区域和高电压区域，分别在所述时间宽度的对数坐标下做线性外推时，二者相切的位置。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，当所述器件为存储器时，所述电压脉冲的所述幅值的最小值大于器件的写入电压。