[发明专利]一种传送硅片水道线装置

摘要

本发明提供一种传送硅片水道线装置，包括主输送线、回流线、机械手、循环过滤水箱、阻挡截停机构和上料机构，主输送线与回流线并列设置，主输送线分别插片与清洗一体机和脱胶机连通，回流线分别与插片清洗一体机和脱胶机连通，机械手与插片清洗一体机均设于主输送线的一侧，机械手与插片清洗一体机相配合，上料机构与脱胶机均设于主输送线的另一侧，上料机构与脱胶机相配合，阻挡截停机构分别设于主输送线和回流线上，循环过滤水箱与主输送线连接。本发明的有益效果是具有主输送线和回流线，实现脱胶后的硅片的输送和空载载具的回流，自动化程度高，节约人工成本，降低了劳动强度，方便过程管控，提高了工作效率。

主权项

1.一种传送硅片水道线装置，其特征在于：包括主输送线、回流线、机械手、循环过滤水箱、阻挡截停机构和上料机构，所述主输送线与所述回流线并列设置，所述主输送线分别插片与清洗一体机和脱胶机连通，所述回流线分别与所述插片清洗一体机和所述脱胶机连通，所述机械手与所述插片清洗一体机均设于所述主输送线的一侧，所述机械手与所述插片清洗一体机相配合，所述上料机构与所述脱胶机均设于所述主输送线的另一侧，所述上料机构与所述脱胶机相配合，所述阻挡截停机构分别设于所述主输送线和所述回流线上，所述循环过滤水箱与所述主输送线连接。