[发明专利]一种传送硅片水道线装置

说明书

本发明提供一种传送硅片水道线装置，包括主输送线、回流线、机械手、循环过滤水箱、阻挡截停机构和上料机构，主输送线与回流线并列设置，主输送线分别插片与清洗一体机和脱胶机连通，回流线分别与插片清洗一体机和脱胶机连通，机械手与插片清洗一体机均设于主输送线的一侧，机械手与插片清洗一体机相配合，上料机构与脱胶机均设于主输送线的另一侧，上料机构与脱胶机相配合，阻挡截停机构分别设于主输送线和回流线上，循环过滤水箱与主输送线连接。本发明的有益效果是具有主输送线和回流线，实现脱胶后的硅片的输送和空载载具的回流，自动化程度高，节约人工成本，降低了劳动强度，方便过程管控，提高了工作效率。

技术领域

本发明属于硅片生产技术领域，尤其是涉及一种传送硅片水道线装置。

背景技术

硅片脱胶后，现有技术通过人工将硅片装入载具，放置到插片机中进行插片，无法达到自动化目的，人工成本高，劳动强度大，工作效率低。

发明内容

鉴于上述问题，本发明要解决的问题是提供一种传送硅片水道线装置，应用于硅片脱胶后由脱胶机处运动至插片清洗一体机处使用，实现脱胶后硅片装入载具后，经过主输送线运送至插片清洗机，并经过机械手的作用自动进入插片清洗一体机，空的载具进行回流，自动化程度高，降低劳动强度，降低了人工成本，提高了工作效率。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种传送硅片水道线装置，包括主输送线、回流线、机械手、循环过滤水箱、阻挡截停机构和上料机构，主输送线与回流线并列设置，主输送线分别插片与清洗一体机和脱胶机连通，回流线分别与插片清洗一体机和脱胶机连通，机械手与插片清洗一体机均设于主输送线的一侧，机械手与插片清洗一体机相配合，上料机构与脱胶机均设于主输送线的另一侧，上料机构与脱胶机相配合，阻挡截停机构分别设于主输送线和回流线上，循环过滤水箱与主输送线连接。

进一步的，主输送线包括第一侧板、第二侧板和传送线，第一侧板与第二侧板分别设于传送线的两侧，第一侧板和/或第二侧板设有进水孔，进水孔与循环过滤水箱出水口连接，第一侧板和/或第二侧板设有出水孔，出水孔与循环过滤水箱进水口连接。

进一步的，回流线包括回流线驱动装置和回流线输送带，回流线输送带与回流线驱动装置连接。

进一步的，机械手包括安装支架、机械手控制装置、横向移动装置、纵向伸缩装置、横向伸缩装置和夹持装置，横向移动装置、纵向伸缩装置与横向伸缩装置分别与机械手控制装置电连接，纵向伸缩装置设于横向移动装置上，横向伸缩装置与纵向伸缩装置连接，夹持装置与横向伸缩装置连接，横向移动装置设于安装支架上，机械手控制装置分别与主输送线和回流线电连接。

进一步的，阻挡截停机构包括多个主输送线阻挡截停结构和多个回流线阻挡截停结构，多个主输送线阻挡截停结构均设于主输送线上，多个回流线阻挡截停结构均设于回流线上。

进一步的，主输送线阻挡截停结构包括主支架、第一开关、第二开关、第三开关、第四开关、第一阻挡、第二阻挡和第三阻挡，第一阻挡、第二阻挡和第三阻挡依次设于主支架上，第一开关与第二开关设于主支架上，第一开关与第二开关设于第一阻挡与第二阻挡之间，第三开关与第四开关设于主支架上，第三开关与第四开关设于第二阻挡与第三阻挡之间。

进一步的，回流线阻挡截停结构包括阻挡和开关，阻挡与开关均设于回流线上，阻挡包括伸缩装置和阻挡杆，伸缩装置与阻挡杆连接，伸缩装置与回流线连接。

进一步的，上料机构包括上料平台、上料控制装置和载具识别装置，上料控制装置与载具识别装置均与上料平台连接，载具识别装置与上料控制装置电连接。

进一步的，传送硅片水道线装置还包括推料机构，推料机构设于主输送线上，推料机构包括推料伸缩装置、推料连接板和推料板，推料伸缩装置与主输送线连接，推料连接板的一端与推料伸缩装置连接，推料板与推料连接板的另一端连接。