[发明专利]金属膜蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法在审
| 申请号： | 201910212233.0 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN111621785A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 朴相承;金益儁;金希泰;李宝研;金世训 | 申请（专利权）人： | 易案爱富科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;C23F1/18;C23F1/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 苗堃;金世煜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及金属膜蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法。根据本发明的金属膜蚀刻组合物包含过氧化氢、有机酸、二元醇系高分子和水，pH范围为3.0至4.4，相对于硅膜、透明导电膜等下部膜，具有对铜、钼等金属膜的高选择比或无限选择比，在相对高的pH范围内双氧水稳定性也优异，即使蚀刻重复进行而再使用多次，也能够持续维持初期优异的特性。此外，不仅在蚀刻时能够实现线性优异的带状轮廓，而且具有CD损失(CD loss)减少和抑制残渣产生的特性优异的效果。此外，由于组合物具有高稳定性，从而具有在使用前或使用后也能够持续地维持初期优异的特性的得到提高的保存稳定性，具有蚀刻时不产生析出物且能够抑制发热的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 金属膜 蚀刻 组合 利用 方法 | ||
【主权项】：
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