[发明专利]一种用于高温状态下在线监测的光学显微成像方法及装置有效
申请号: | 201910202482.1 | 申请日: | 2019-03-11 |
公开(公告)号: | CN109814243B | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 吴丽雄;冯国斌;张检民;陈绍武 | 申请(专利权)人: | 西北核技术研究所 |
主分类号: | G02B21/36 | 分类号: | G02B21/36;G02B21/30;G02B21/00;G01N21/84 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 胡乐 |
地址: | 710024 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提出一种用于高温状态下在线监测的光学显微成像方法及装置,旨在解决现有高分辨率动态光学显微成像方案系统复杂、显微镜与热源距离较近等问题。该方法包括以下步骤:1)将试样和光学显微镜分别放置于共轭成像面的焦点A和焦点B处;2)对试样进行加热,并维持高温状态;3)利用照明光照射试样表面,产生漫反射,再经所述共轭成像面反射,由光学显微镜接收共轭像进行放大,获取显微图像;4)若需要观测试样表面的不同区域,则移动试样,确保被测区域中心始终处于焦点A上,按照步骤3)获取显微图像。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 高温 状态 在线 监测 光学 显微 成像 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种用于高温状态下在线监测的光学显微成像方法,其特征在于,包括以下步骤:1)将试样和光学显微镜分别放置于共轭成像面的焦点A和焦点B处;2)对试样进行加热,并维持高温状态;3)利用照明光照射试样表面,产生漫反射,再经所述共轭成像面反射,由光学显微镜接收共轭像进行放大,获取显微图像;4)若需要观测试样表面的不同区域,则移动试样,确保被测区域中心始终处于焦点A上,按照步骤3)获取显微图像。
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