[发明专利]一种用于高温状态下在线监测的光学显微成像方法及装置

权利要求书

1.一种用于高温状态下在线监测的光学显微成像方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将试样和光学显微镜分别放置于共轭成像面的焦点A和焦点B处；

2)采用加热机构对试样进行加热，并维持高温状态；所述加热机构采用激光加热的方式，激光光源位于共轭成像面的外部；在所述共轭成像面上还开设有用于激光入射的光窗；在光学显微镜前加装有滤光片，用于滤去激光信号以消除对成像的干扰；

3)利用照明光照射试样表面，产生漫反射，再经所述共轭成像面反射，由光学显微镜接收共轭像进行放大，获取材料表面形貌的显微图像；

4)若需要观测试样表面的不同区域，则移动试样，确保被测区域中心始终处于焦点A上，按照步骤3)获取材料表面形貌的显微图像。

2.一种用于高温状态下在线监测的光学显微成像装置，其特征在于：包括非旋转椭球共轭成像器件、光学显微镜、位置调节机构、加热机构和照明光源；

所述加热机构用于对试样加热并维持高温状态；

所述非旋转椭球共轭成像器件用于提供共轭成像面；

所述光学显微镜放置于共轭成像面的焦点B处；

所述位置调节机构用于放置试样，并能够实现三维方向位置调整，使得试样表面的被测区域中心始终位于共轭成像面的焦点A处；

所述照明光源位于共轭成像面的外部，在所述共轭成像面上开设有用于照明光入射的光窗，照明光源透射该光窗至试样表面，产生漫反射，再经所述共轭成像面反射至光学显微镜，由光学显微镜接收共轭像进行放大，获取材料表面形貌的显微图像。

3.根据权利要求2所述的用于高温状态下在线监测的光学显微成像装置，其特征在于：所述加热机构为设置于试样背面的加热器。

4.根据权利要求3所述的用于高温状态下在线监测的光学显微成像装置，其特征在于：所述加热器与位置调节机构之间设置有隔热组件。

5.根据权利要求2所述的用于高温状态下在线监测的光学显微成像装置，其特征在于：所述位置调节机构为高精度电控位移台。