[发明专利]一种蒸镀沉积设备及其使用方法在审
| 申请号： | 201910200008.5 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN110158036A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 章丰帆 | 申请（专利权）人： | 上海视涯信息科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 201206 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀沉积设备，包括：一个沉积腔体；设置于所述沉积腔体内的基板保持装置，用于固定保持基板；线型蒸镀源，所述线型蒸镀源包括一个容纳装置，用于容纳蒸镀材料，所述容纳装置包括一个容纳槽和多个盖板，所述多个盖板中的每个盖板可和所述容纳槽组装或拆分，所述容纳槽每次和所述多个盖板中的一个盖板进行组装；所述每个盖板上设置有多个喷嘴，所述多个盖板的喷嘴分布各不相同；所述多个盖板中的每个盖板和所述容纳槽组装后，所述盖板的多个喷嘴都和所述容纳槽的内部相通；旋转机构，所述旋转机构使所述基板和所述线型蒸镀源绕所述基板的中心轴相对转动。本发明还提供使用上述蒸镀沉积设备进行有机材料层成膜工艺的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 盖板 容纳槽 线型蒸镀源 沉积设备 喷嘴 基板 蒸镀 组装 容纳装置 旋转机构 基板保持装置 有机材料层 沉积腔体 成膜工艺 内部相通 蒸镀材料 沉积腔 中心轴 体内 容纳 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀沉积设备，其特征在于，包括：一个沉积腔体；设置于所述沉积腔体内的基板保持装置，用于固定保持基板；线型蒸镀源，所述线型蒸镀源包括一个容纳装置，用于容纳蒸镀材料，所述容纳装置包括一个容纳槽和多个盖板，所述多个盖板中的每个盖板可和所述容纳槽组装或拆分，所述容纳槽每次和所述多个盖板中的一个盖板进行组装；所述每个盖板上设置有多个喷嘴，所述多个盖板的喷嘴分布各不相同；所述多个盖板中的每个盖板和所述容纳槽组装后，所述盖板的多个喷嘴都和所述容纳槽的内部相通；旋转机构，所述旋转机构使所述基板和所述线型蒸镀源绕所述基板的中心轴相对转动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海视涯信息科技有限公司，未经上海视涯信息科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910200008.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
