[发明专利]一种可低温印刷氧化物绝缘薄膜的制备方法在审

专利信息
申请号: 201910187207.7 申请日: 2019-03-13
公开(公告)号: CN109897447A 公开(公告)日: 2019-06-18
发明(设计)人: 宁洪龙;蔡炜;姚日晖;陶瑞强;陈建秋;朱镇南;魏靖林;章红科;卢宽宽;彭俊彪 申请(专利权)人: 华南理工大学
主分类号: C09D11/03 分类号: C09D11/03;C09D11/033;C09D11/36;C09D11/38
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 罗啸秋
地址: 510640 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明属于薄膜器件制备技术领域,公开了一种可低温印刷氧化物绝缘薄膜的制备方法。将氧化物前驱体材料溶解于良溶剂中,取样进行TG/DSC测试,选取挥发温度、致密化温度<200℃的墨水,然后进行粘度和张力测试,加入辅助溶剂,调节墨水粘度和张力,再通过TG/DSC测试确定退火温度;通过紫外吸收曲线测试确定最大吸收波段;将所得墨水体系印刷成膜,在确定的退火温度下进行热退火处理,然后采用最大吸收波段的紫外光进行处理,得到氧化物绝缘薄膜。本发明通过一系列有效的测试分析,从物理化学的角度对前驱体、溶剂选择以及后处理参数进行了筛选和优化,获得可低温印刷氧化物绝缘薄膜,对大面积柔性电子设备的发展具有推动作用。
搜索关键词: 绝缘薄膜 氧化物 印刷 退火 最大吸收 波段 测试 制备 物理化学 氧化物前驱体 制备技术领域 紫外吸收曲线 后处理 紫外光 薄膜器件 材料溶解 测试分析 辅助溶剂 墨水体系 墨水粘度 溶剂选择 柔性电子 张力测试 良溶剂 前驱体 热退火 致密化 成膜 挥发 取样 墨水 筛选 优化
【主权项】:
1.一种可低温印刷氧化物绝缘薄膜的制备方法,其特征在于包括如下步骤:(1)将氧化物前驱体材料溶解于良溶剂中,搅拌溶解均匀,得到墨水;取样进行热重/差示扫描量热法测试,分析墨水中溶剂挥发温度以及薄膜致密化温度范围;选取挥发温度、致密化温度<200℃的墨水;(2)取步骤(1)选取的墨水进行粘度和张力测试,加入辅助溶剂,调节墨水粘度在8~20mPas范围,张力在30~50mN/m范围;(3)对步骤(2)的墨水体系进行热重/差示扫描量热法测试,将退火温度设定为高于墨水体系中溶剂挥发20~30℃的温度;(4)取步骤(3)的墨水体系进行紫外吸收曲线测试,分析墨水对紫外光的最大吸收波段;(5)将所得墨水体系印刷成膜,在步骤(3)确定的退火温度下进行热退火处理,然后采用步骤(4)所得最大吸收波段的紫外光进行处理,得到氧化物绝缘薄膜。
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