[发明专利]一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池无镉缓冲层薄膜及制备方法在审
| 申请号： | 201910160461.8 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN110047948A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 于翠萍;黄延伟;丁严艳 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L31/0216 | 分类号： | H01L31/0216;H01L31/0368;H01L31/0392;H01L31/18;C23C14/35 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 朱月芬 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池无镉缓冲层薄膜及制备方法，本发明为含氧硫化锌多晶薄膜，其分子式是ZnxSyOz，其中x＝y+z；ZnxSyOz具有六方纤锌矿晶型结构；本发明制备得到的含氧硫化锌ZnxSyOz(x＝y+z)薄膜不仅消除了含镉缓冲层存在的环境污染隐患，而且带隙宽，与吸收层可以有更好的匹配，可以拓宽电池对太阳光谱的响应范围可以成为一种较为理想的替代CdS缓冲层薄膜的材料。本发明的可见光区透射率可达80％以上，薄膜的光学带隙宽度在3.0～3.8eV之间可调。 | ||
| 搜索关键词： | 缓冲层薄膜 制备 铜铟镓硒薄膜太阳能电池 硫化锌 含氧 无镉 薄膜 六方纤锌矿 多晶薄膜 光学带隙 晶型结构 可见光区 太阳光谱 缓冲层 透射率 吸收层 带隙 含镉 可调 匹配 电池 响应 替代 | ||
【主权项】：
1.一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池无镉缓冲层薄膜，其特征在于：为含氧硫化锌多晶薄膜，其分子式是ZnxSyOz，其中x＝y+z；ZnxSyOz具有六方纤锌矿晶型结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
