[发明专利]一种集成光波导电功率传感芯片及其构建的测量系统有效
| 申请号： | 201910150304.9 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN109946511B | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 张家洪;李佳文;赵振刚;李英娜;李川 | 申请（专利权）人： | 昆明理工大学 |
| 主分类号： | G01R21/06 | 分类号： | G01R21/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650093 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成光波导电功率传感芯片及其构建的测量系统，芯片包括铌酸锂晶片，用于作为基底；Y分支光波导，用于将输入的光信号分为两部分；第一集成光波导MZI，用于和条形电极构成电压传感单元；第二集成光波导MZI，用于和分段电极、环形天线构成电流传感单元；条形电极，用于接入被测电压信号，并在电极间产生感应电压，从而对第一集成光波导MZI中传输的光波产生调制作用；环形天线，用于接收被测电流周围的磁场，并在环形天线上产生感应电流；分段电极，用于将环形天线上产生的感应电流转换成感应电压，从而对第二集成光波导MZI中传输的光波产生调制作用。本发明具有集成度高、复杂程度低、稳定性高、抗干扰能力强、绝缘性能好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 光波 导电 功率 传感 芯片 及其 构建 测量 系统 | ||
【主权项】：
1.一种集成光波导电功率传感芯片，其特征在于：包括：铌酸锂晶片(1)，用于作为集成光波导电功率传感芯片的基底；Y分支光波导(2)，用于将输入的光信号分为两部分，分别输入与之相连的第一集成光波导马赫增德尔干涉仪(3)和第二集成光波导马赫增德尔干涉仪(4)；第一集成光波导马赫增德尔干涉仪(3)，用于和条形电极(5)一起构成电压传感单元；第二集成光波导马赫增德尔干涉仪(4)，用于和分段电极(6)以及环形天线(7)一起构成电流传感单元；条形电极(5)，用于接入被测电压信号，并在电极间产生感应电压，从而对第一集成光波导马赫增德尔干涉仪(3)中传输的光波产生调制作用，即将电压信号加载到光波上；环形天线(7)，用于接收被测电流周围的磁场，并在环形天线(7)上产生感应电流；分段电极(6)，用于将环形天线(7)上产生的感应电流转换成感应电压，从而对第二集成光波导马赫增德尔干涉仪(4)中传输的光波产生调制作用，即将电流信号加载到光波上。
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