[发明专利]电子材料包装容器的清洗及在线式洁净度检测方法

摘要

本发明公开了一种电子材料包装容器的清洗及在线式洁净度检测方法，特征是：提供一组清洗液输入管路和水样输出测试管路，分别具有超纯水进口、氮气进口和清洗液出口，水样出口经电阻率测定仪连接至流量计，待清洗的容器放入超声池中，将上述清洗管路分别连接容器的高口和低口，通过阀门控制先用氮气吹扫，再通过直通管路调节进水流量；超声清洗30～60min，再用超纯水冲洗，冲洗同时进行电阻率检测直至电阻率大于18兆欧，再用超纯水冲洗包装容器1～2倍时间，完成清洗和洁净度检测。本发明创造性地采用电阻率检测来判断容器清洗的结果，解决了现有技术中使用ICP‑MS导致的成本、人员要求和非在线的问题；可以更为直观地观察清洗过程、确定清洗结果，从而缩短了清洗时间，使得清洗更加高效。

主权项

1.一种电子材料包装容器的清洗及在线式洁净度检测方法，其特征在于：设置连接电子材料包装容器的清洗液输入管路和水样输出测试管路；所述清洗液输入管路前端分别连接超纯水输入管路和氮气输入管路；所述超纯水输入管路上设有第二阀门，所述氮气输入管路上设有第三阀门；所述清洗液输入管路上设有第四阀门；所述第四阀门的出口连接电子材料包装容器的清洗液输入口；所述水样输出测试管路的末端连有电阻率测定仪；所述水样输出测试管路的进口端和电子材料包装容器的水样输出口连接，中间设有第五阀门；在所述清洗液输入管路在第四阀门的前端和水样输出测试管路在第五阀门的后端之间设置第一阀门，形成旁路连通；清洗及在线式洁净度检测包括以下步骤：(1) 将待清洗的电子材料包装容器放入超声池中，将上述清洗液输入管路和水样输出测试管路分别连接电子材料包装容器的清洗液输入口和水样输出口；(2) 关闭第一阀门和第二阀门，打开第四阀门和第五阀门，打开第三阀门，用氮气吹扫管路、容器中的空气，吹扫完成后依次关闭第四阀门、第五阀门和第三阀门；(3) 打开第一阀门和第二阀门，调节进水阀门至超纯水流量在100～500mL/min，且电阻率测定仪检测数值大于18兆欧；(4) 打开超声池的超声波发生装置，超声清洗30～60min；(5) 先分别打开第四阀门和第五阀门，再关闭第一阀门，进行电阻率检测直至电阻率大于18兆欧；(6) 关闭超声波发生装置，用超纯水冲洗包装容器，冲洗时间为超声清洗时间的1～3倍；(7) 打开第一阀门，关闭第四阀门和第五阀门；(8) 断开包装容器与清洗管路的连接，倒空包装容器内的纯水，完成清洗和洁净度检测。