[发明专利]一种单晶硅制绒的方法

摘要

本发明涉及一种单晶硅制绒的方法，属于硅片制绒技术领域。本发明首先以富含植物油和纤维成分的油茶籽为原料，压榨后蒸汽爆破处理，将蒸汽爆破产物和复合酶混合酶解，再将酶解产物依次经过酸处理、氧化处理和碱处理，最终制得自制添加剂，将自制添加剂加入到碱液腐蚀液中，在制绒槽中对单晶硅片进行表面制绒，最终得到绒面单晶硅，本发明提供的制绒方法制出的单晶硅绒面金字塔尺寸细小均一，光反射率低，具有广阔的应用前景。

主权项

1.一种单晶硅制绒的方法，其特征在于具体制备步骤为：将单晶硅片用超声清洗仪清洗后备用，将体积浓度为3%的氢氧化钾溶液和自制添加剂混合后装入制绒槽中，再将清洗后备用的单晶硅片放入制绒槽中，在温度为制绒处理15～20min，制绒处理结束后处理，用去离子水反复冲洗3～5遍后自然晾干，即可完成单晶硅制绒；所述自制添加剂的制备步骤为：（1）称取油茶籽放入压榨机中压榨30～40min，得到压榨产物，再将压榨产物放入蒸汽爆破装置中，蒸汽爆破处理，得到爆破压榨产物；（2）将爆破压榨产物和纤维素酶、果胶酶、木聚糖酶以及漆酶混合后装入酶解罐中，在25～27℃下酶解处理15～20h，得到酶解产物；（3）将得到的酶解产物和浓度为0.5molL的盐酸混合后装入反应釜中，密封反应釜后加热升温至70～80℃，保温搅拌反应1～2h后得到预处理物；（4）将得到的预处理物和质量分数为3%的高锰酸钾溶液混合后装入反应釜中，在60～70℃下，以200～300r/min的转速搅拌反应1～2h，得到预反应物；（5）再用浓度为0.5mol/L的氢氧化钠溶液调节上述预反应物pH至9.0～9.5，继续搅拌反应1～2h，得到反应产物，将反应产物过滤，分离去除滤渣，所得滤液即为自制添加剂。