[发明专利]一种气相沉积设备的托盘在审
| 申请号： | 201910126320.4 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN109809684A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 顾勇;张舞杰;谢长贵;邓锦飞 | 申请（专利权）人： | 无锡市凯灵电子有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 广州恒华智信知识产权代理事务所(普通合伙) 44299 | 代理人： | 姜宗华 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种气相沉积设备的托盘，包括：保护壳、支撑移动器和托杆，所述支撑移动器位于所述保护壳的内部，所述托杆设置在所述支撑移动器上，并且从所述保护壳的内部延伸至外部。上述托盘不仅可以在靶棒升降过程中保证其平稳性，而且在靶棒旋转过程中也可以保证其平稳性，从而进一步光纤预制棒的材料均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘 支撑移动 保护壳 沉积设备 平稳性 靶棒 托杆 材料均匀性 光纤预制棒 内部延伸 升降过程 旋转过程 保证 外部 | ||
【主权项】：
1.一种气相沉积设备的托盘，其特征在于：所述托盘包括：保护壳、支撑移动器和托杆，所述支撑移动器位于所述保护壳的内部，所述托杆设置在所述支撑移动器上，并且从所述保护壳的内部延伸至外部。
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