[发明专利]一种气相沉积设备的托盘在审

专利信息
申请号: 201910126320.4 申请日: 2019-02-20
公开(公告)号: CN109809684A 公开(公告)日: 2019-05-28
发明(设计)人: 顾勇;张舞杰;谢长贵;邓锦飞 申请(专利权)人: 无锡市凯灵电子有限公司
主分类号: C03B37/018 分类号: C03B37/018
代理公司: 广州恒华智信知识产权代理事务所(普通合伙) 44299 代理人: 姜宗华
地址: 214000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 托盘 支撑移动 保护壳 沉积设备 平稳性 靶棒 托杆 材料均匀性 光纤预制棒 内部延伸 升降过程 旋转过程 保证 外部
【说明书】:

一种气相沉积设备的托盘,包括:保护壳、支撑移动器和托杆,所述支撑移动器位于所述保护壳的内部,所述托杆设置在所述支撑移动器上,并且从所述保护壳的内部延伸至外部。上述托盘不仅可以在靶棒升降过程中保证其平稳性,而且在靶棒旋转过程中也可以保证其平稳性,从而进一步光纤预制棒的材料均匀性。

技术领域

本发明涉及光纤预制棒制造领域,尤其是涉及一种气相沉积设备的托盘。

背景技术

光纤预制棒是具有特定折射率剖面并用于制造光导纤维(简称光纤)的石英玻璃棒。预制棒一般直径为几毫米至几十毫米(俗称光棒)。光纤的内部结构就是在预制棒中形成的。因为预制棒的制作是光纤工艺中最重要的部分,所以从20世纪70年代末期开始规模生产光纤以来,对光纤预制棒制造技术的研究和完善改进就从来没有间断过。

在光纤预制棒的制造过程中,其外包层常常采用OVD法制备,OVD法具有效率高、灵活性强、经济效益好等优点。如:中国专利CN107188404公开的一种使用有机硅制备高质量光纤预制棒的方法,该方法通过控制喷灯和芯棒的相对移动速度、喷灯与芯棒的相对旋转速度、燃气与氧气的比例、有机硅载气比例和箱体内风速,最终优化OVD沉积第一层的反应温度,从而使得芯棒上第一层SiO2沉积物的粒径大小介于20nm~200nm、且粒径分布均匀,获得烧结后光棒界面质量好的光纤预制棒。

为了克服传统光纤预制棒OVD沉积制备装置沉积效率和速率不高的问题,中国专利CN204644158公开了一种多喷灯的疏松体光纤预制棒OVD沉积制备装置,该制备装置通过多喷灯来提高疏松体光纤预制棒制备沉积速率和效率高,并能使疏松体光纤预制棒的直径的均匀性好,能保证产品内部晶格结构的单一性。

然而,上述制备装置只能对靶棒进行静态沉积,喷出的气体集中在与喷灯正对的位置,限制了均匀性的进一步改善,虽然可以将其支架设置成可移动式的,但是在移动过程中单单靠移动机构很难保证靶棒的平稳,故仍可能出现沉积不均匀的情况。

发明内容

本发明技术方案是针对上述情况的,为了解决上述问题而提供一种气相沉积设备的托盘,所述托盘包括:保护壳、支撑移动器和托杆,所述支撑移动器位于所述保护壳的内部,所述托杆设置在所述支撑移动器上,并且从所述保护壳的内部延伸至外部。

进一步,所述支撑移动器包括:支撑电机、减速机、支撑丝杠、支撑轨道、滑板螺母,所述支撑电机通过减速机与所述支撑丝杠形成转动连接,所述滑板螺母位于所述支撑轨道上并且与所述支撑丝杠形成啮合,所述滑板螺母与所述托杆形成固定。

进一步,所述支撑移动器还包括:支撑拖链,所述支撑拖链的一端与所述支撑轨道形成固定,另一端与所述滑板螺母形成固定。

进一步,所述支撑移动器还包括:两个支撑行程开关和支撑传感器,一个支撑行程开关位于所述支撑轨道的上端,另一个支撑行程开关位于所述支撑轨道的下端,所述支撑传感器位于两个支撑行程开关之间。

进一步,所述托杆包括:杆套、支撑柱、轴承座、连接杆和承托部件,所述支撑柱位于所述杆套内部,所述轴承座位于所述支撑柱上端,所述连接杆穿过所述轴承座,所述承托部件位于所述连接杆上端,所述连接杆从所述保护壳的内部延伸至外部。

进一步,所述承托部件呈漏斗形状。

采用上述技术方案后,本发明的效果是:具有上述结构的托盘,不仅可以在靶棒升降过程中保证其平稳性,而且在靶棒旋转过程中也可以保证其平稳性,从而进一步光纤预制棒的材料均匀性。

附图说明

图1为本发明涉及的气相沉积设备的示意图;

图2为本发明涉及的气相沉积设备的局部视图;

图3为本发明涉及的机架的示意图;

图4为本发明涉及的机架的另一示意图;

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