[发明专利]一种等离子体真空放电系统有效
| 申请号： | 201910121079.6 | 申请日： | 2019-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN111586956B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 刘永新;苏子轩;张莹莹;王友年 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 杜阳阳 |
| 地址： | 116000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开一种等离子体真空放电系统。该等离子体真空放电系统包括真空腔体、上电极和下电极，下电极位于真空腔体内；下电极为上方开口的中空圆柱体；上电极的下部容纳在下电极内，上电极的上部向上延伸至真空腔体外部；在上电极的下部周围沿周向环绕多个电极环；多个电极环沿径向从内向外依次设置；每个电极环均与相邻的电极环紧密贴合，最外侧的电极环与下电极的内壁贴合，最内侧的电极环与上电极的下部贴合；多个电极环中的一个电极环的材质为聚四氟乙烯，剩余电极环的材质为金属。采用本发明的等离子体真空放电系统，能够扩大自偏压的调节范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 真空 放电 系统 | ||
【主权项】：
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