[发明专利]电火花加工微细亲水探针操作微液滴方法及装置有效

专利信息
申请号: 201910103034.6 申请日: 2019-02-01
公开(公告)号: CN109865904B 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 佟浩;普玉彬;李俊杰;李勇;姬波林 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: B23H1/00 分类号: B23H1/00;B23H11/00
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 张润
地址: 10008*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种电火花加工微细亲水探针操作微液滴方法及装置,其中,该方法包括:将微细金属探针插入待操作液体中,通过控制微细金属探针的水平方向运动,利用微细金属探针侧壁表面的亲水特性自动吸取待操作液体中的微液滴到微细金属探针的侧壁上;通过操作将微细金属探针和微液滴移动到需要点液的位置;通过沿微细金属探针的轴向方向吹出带有压力的气体,将微液滴释放到需要点液的基片上。该方法利用微细金属探针的亲水表面能自动吸取和操作微液滴,具有节能、操作便捷、系统成本低等优点。
搜索关键词: 电火花 加工 微细 探针 操作 微液滴 方法 装置
【主权项】:
1.一种电火花加工微细亲水探针操作微液滴方法,其特征在于,包括以下步骤:将微细金属探针插入待操作液体中,通过控制所述微细金属探针的水平方向运动,利用所述微细金属探针侧壁表面的亲水特性自动吸取所述待操作液体中的微液滴到所述微细金属探针的侧壁上;通过操作将所述微细金属探针和所述微液滴移动到需要点液的位置;通过沿所述微细金属探针的轴向方向吹出带有压力的气体,将所述微液滴释放到需要点液的基片上。
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