[发明专利]电火花加工微细亲水探针操作微液滴方法及装置有效

专利信息
申请号: 201910103034.6 申请日: 2019-02-01
公开(公告)号: CN109865904B 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 佟浩;普玉彬;李俊杰;李勇;姬波林 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: B23H1/00 分类号: B23H1/00;B23H11/00
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 张润
地址: 10008*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 电火花 加工 微细 探针 操作 微液滴 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种电火花加工的微细金属探针操作微液滴方法,其特征在于,包括以下步骤:

通过改变微细电火花加工制备过程中的电参数和工作液条件,调控微细金属探针表面的微观形貌,获得具有亲水特性的单根或多根所述微细金属探针;

将所述微细金属探针插入待操作液体中,通过控制所述微细金属探针的水平方向运动,利用所述微细金属探针侧壁表面的亲水特性自动吸取所述待操作液体中的微液滴到所述微细金属探针的侧壁上,通过调节所述微细金属探针直径、表面亲水特性、插入所述待操作液体的液面深度和时间中的一个或多个来改变提取的所述微液滴大小;

通过运动操作平台将所述微细金属探针和所述微液滴移动到需要点液的位置;

通过沿所述微细金属探针的轴向方向吹出带有压力的气体,将所述微液滴释放到需要点液的基片上;通过调节气体的气体压力来调控释放所述微液滴的速度和大小。

2.根据权利要求1所述的电火花加工的微细金属探针操作微液滴方法,其特征在于,

所述微细金属探针的运动为左右、前后、旋转、摇动中的一个或多个方向的运动。

3.根据权利要求1所述的电火花加工的微细金属探针操作微液滴方法,其特征在于,调控所述微细金属探针表面的微观形貌,获得具有亲水特性的阵列的所述微细金属探针。

4.一种电火花加工的微细金属探针操作微液滴装置,其特征在于,包括:

微细金属探针,通过改变微细电火花加工制备过程中的电参数和工作液条件,调控所述微细金属探针表面的微观形貌,获得具有亲水特性的单根或多根所述微细金属探针,所述微细金属探针用于插入待操作液体,通过控制所述微细金属探针的水平方向运动,利用所述微细金属探针侧壁表面的亲水特性自动吸取所述待操作液体中的微液滴到所述微细金属探针的侧壁上,通过调节所述微细金属探针直径、表面亲水特性、插入所述待操作液体的液面深度和时间中的一个或多个来改变提取的所述微液滴大小;

移动装置,用于通过运动操作平台控制所述微细金属探针和所述微液滴移动到需要点液的位置;

供气系统,用于提供气体;

吹气结构,所述吹气结构的吹气喷嘴与所述供气系统连接,用于通过沿所述微细金属探针的轴向方向吹出带有压力的气体,将所述微液滴释放到需要点液的基片上;通过调节气体的气体压力来调控释放所述微液滴的速度和大小。

5.根据权利要求4所述的电火花加工的微细金属探针操作微液滴装置,其特征在于,

所述微细金属探针的运动为左右、前后、旋转、摇动中的一个或多个方向的运动。

6.根据权利要求4所述的电火花加工的微细金属探针操作微液滴装置,其特征在于,调控所述微细金属探针表面的微观形貌,获得具有亲水特性的阵列的所述微细金属探针。

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