[发明专利]利用支撑条的动态随机存取存储器单元阵列及其制作方法

摘要

本发明公开利用支撑条的动态随机存取存储器单元阵列及其制作方法。根据本发明的动态随机存取存储器单元阵列的制作方法生成的动态随机存取存储器单元阵列的动态随机存取存储器单元对各自的第一动态随机存取存储器单元及第二动态随机存取存储器单元共享支撑条及位线插头。由此，根据本发明的动态随机存取存储器单元阵列的制作方法所生成的动态随机存取存储器单元阵列，很大程度地减少整体布局面积。并且，在本发明优选实施例的动态随机存取存储器单元阵列的制作方法中，动态随机存取存储器单元阵列的动态随机存取存储器单元各自的存储器呈具有多个侧面突出部的多鳍类型，从而很大程度地增加存储器的面积。

主权项

1.一种动态随机存取存储器单元阵列，排列多个动态随机存取存储器单元对，上述多个动态随机存取存储器单元对分别由第一动态随机存取存储器单元及第二动态随机存取存储器单元构成，其特征在于，包括：支撑条，相对于半导体基板的水平面按规定宽度和高度突出来向水平的第一方向扩大，用于将多个活动区域分别划分为第一子区域和第二子区域，上述多个活动区域与上述多个动态随机存取存储器单元对相对应，沿着上述第一方向整齐地形成，在上述第一子区域及上述第二子区域形成对应的上述动态随机存取存储器单元对的上述第一动态随机存取存储器单元及上述第二动态随机存取存储器单元；第一字线及第二字线，形成于上述支撑条的两侧面，被分配到上述多个动态随机存取存储器单元对各自的上述第一动态随机存取存储器单元及上述第二动态随机存取存储器单元的单元晶体管的栅极，上述多个动态随机存取存储器单元对各自的上述第一动态随机存取存储器单元及上述第二动态随机存取存储器单元的单元晶体管具有形成于上述半导体基板的水平和上述支撑条的侧面的传送通道；多个位线插头，与上述多个动态随机存取存储器单元对相对应地形成于上述支撑条，与各自对应的位线电连接，通过与各自对应的上述动态随机存取存储器单元对的上述第一动态随机存取存储器单元及上述第二动态随机存取存储器单元的上述单元晶体管的一侧接合部共享；以及多个存储器对，与上述多个动态随机存取存储器单元对对应形成，分别由第一存储器及第二存储器形成，上述第一存储器及上述第二存储器与上述第一子区域及上述第二子区域电连接来与上述第一动态随机存取存储器单元及上述第二动态随机存取存储器单元的上述单元晶体管的另一侧接合部电连接。