[发明专利]直拉单晶炉加料装置在审
申请号: | 201910064168.1 | 申请日: | 2019-01-23 |
公开(公告)号: | CN109518268A | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 史蒂芬·劳伦斯·金贝尔;孟敬镐;布拉德·乔佩克 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫软控设备科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B29/06 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 221001 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种直拉单晶炉加料装置。其包括:进料管;硅料输运体,用于接收来自进料管的硅料,硅料输运体具有用于接收硅料的底壁、远离硅料的第一侧壁以及围绕硅料设置的第二侧壁;底壁与第一侧壁相对设置,且底壁、第一侧壁与第二侧壁围成用以容纳硅料的腔体;以及下料管,用于接收来自硅料输运体的硅料;硅料的自然堆积角为θ,进料管的中心线与下料管的中心线之间的夹角为γ,γ满足以下条件:0°≤γ<90°‑θ;底壁与下料管的中心线之间的夹角为α,α满足以下条件:α<θ+90°;第一侧壁与下料管的中心线之间的夹角为β,β满足以下条件:β≥θ+90°。上述直拉单晶炉加料装置,设计γ、α和β分别满足各自条件,能够降低生产成本和提高产出,有利于应用。 | ||
搜索关键词: | 硅料 第一侧壁 下料管 底壁 直拉单晶炉 加料装置 夹角为 进料管 输运 第二侧壁 相对设置 堆积角 腔体 容纳 应用 | ||
【主权项】:
1.一种直拉单晶炉加料装置,其特征在于,所述直拉单晶炉加料装置包括:进料管;硅料输运体,用于接收来自所述进料管的硅料,所述硅料输运体与所述进料管连通,所述硅料输运体具有用于接收所述硅料的底壁、远离所述硅料的第一侧壁以及围绕所述硅料设置的第二侧壁;其中,所述底壁与所述第一侧壁相对设置,且所述底壁、所述第一侧壁与所述第二侧壁围成用以容纳硅料的腔体;以及下料管,用于接收来自所述硅料输运体的硅料,所述下料管与所述硅料输运体连通;其中,硅料的自然堆积角为θ,所述进料管的中心线与所述下料管的中心线之间的夹角为γ,γ满足以下条件:0°≤γ<90°‑θ;所述底壁与所述下料管的中心线之间的夹角为α,α满足以下条件:α<θ+90°;所述第一侧壁与所述下料管的中心线之间的夹角为β,β满足以下条件:β≥θ+90°。
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