[发明专利]量测设备及其表面检测模块和检测方法在审
| 申请号： | 201910054021.4 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN109724995A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 刘亮;李仲禹 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 上海上谷知识产权代理有限公司 31342 | 代理人： | 蔡继清 |
| 地址： | 201703 上海市青浦区赵巷*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种量测设备及其检测模块和检测方法。表面检测模块包括：工件台，用于放置待测量的工件；光源，用于提供入射光；光探测器，光探测器布置成能够接收来自工件台上放置的工件反射和散射的光线；以及反射转鼓，反射转鼓上设有多片反射镜片并布置成能够围绕一旋转轴线旋转，多片反射镜片布置成能够接收来自光源的入射光并将该入射光反射至放置在工件台上的工件的表面。本申请的量测设备设有尤其适于对硅片的表面粒子进行散射测量，且相比于现有的量测设备，效率大大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 量测设备 反射 入射光 表面检测 反射镜片 光探测器 多片 转鼓 光源 表面粒子 检测模块 散射测量 旋转轴线 工件台 检测 散射 硅片 申请 测量 | ||
【主权项】：
1.一种表面检测模块，其特征在于，所述表面检测模块包括：工件台，用于放置待测量的工件；光源，用于提供入射光；光探测器，所述光探测器布置成能够接收来自工件台上放置的工件反射和散射的光线；以及反射转鼓，所述反射转鼓上设有多片反射镜片并布置成能够围绕一旋转轴线旋转，所述多片反射镜片布置成能够接收来自所述光源的入射光并将该入射光反射至放置在所述工件台上的工件的表面。
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