[发明专利]一种尺寸可控的三层纳米孔结构及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 201910049859.4 | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN109811046A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 袁志山;雷鑫;吴丹丹;王成勇;凌新生 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C12Q1/6869 | 分类号： | C12Q1/6869;B82Y40/00;B82Y5/00;B82Y15/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510006 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种尺寸可控的三层纳米孔结构及其制备方法与应用。所述制备方法，包括如下步骤：S1.通过刻蚀三层纳米薄膜结构，得到三层纳米通孔；S2.采用电子束对S1中的三层纳米通孔进行缩孔，得到三层纳米孔结构；所述电子束的扫描区域为300nm×300nm~20µm×20µm。本发明将离子束和电子束相结合，制备出纳米孔孔径较小的三层纳米孔结构，并且可以实现纳米孔的尺寸可控。本发明能够制备出薄膜较薄、纳米孔的孔径小于10nm的三层纳米孔结构，该三层纳米孔结构可以实现DNA分子的动力学校对，提高碱基序列识别的垂直分辨率和水平分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米孔 三层 制备 电子束 尺寸可控 通孔 垂直分辨率 水平分辨率 碱基序列 纳米薄膜 扫描区域 动力学 离子束 刻蚀 缩孔 薄膜 校对 应用 | ||
【主权项】：
1.一种尺寸可控的三层纳米孔结构的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1. 通过刻蚀三层纳米薄膜结构，得到三层纳米通孔；S2. 采用电子束对S1中的三层纳米通孔进行缩孔，得到三层纳米孔结构；所述电子束的扫描区域为300nm×300nm~20µm×20µm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东工业大学，未经广东工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910049859.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
