[发明专利]用于测量物体的表面的高度图的方法、系统和数据载体有效
| 申请号： | 201910036740.3 | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN110044275B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | J·奎达克尔斯 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于测量物体的表面的高度图的方法、系统和数据载体。在用于测量物体的表面的高度图的方法和系统中，执行以下步骤。使用具有覆盖个体分区的视场即FOV的光学轮廓仪来测量物体的表面的不同分区的高度图，其中该高度图包括高度数据。将测量高度图分组成不同集合的高度图，其中在各集合内，该集合的高度图中的每一个高度图与该集合的至少一个其它高度图存在有效重叠，以及其中，各高度图属于一个集合并且与另一集合的任何高度图不存在有效重叠。在各集合内，将测量高度图拼接为子合成拼接高度图。将子合成拼接高度图组合为合成高度图。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 物体 表面 高度 方法 系统 数据 载体 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量物体的表面的高度图的方法，所述方法包括：使用具有覆盖个体分区的视场即FOV的光学轮廓仪来测量所述物体的表面的不同分区的高度图，其中各高度图包括高度数据；将测量的高度图分组成高度图的不同集合，其中，在各集合内，该集合的高度图中的每一个高度图与该集合的至少一个其它高度图存在有效重叠，以及各高度图属于一个集合并且与另一集合的任何高度图不存在有效重叠；以及在各集合内，将测量的高度图拼接为子合成拼接高度图。
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