[发明专利]用于测量物体的表面的高度图的方法、系统和数据载体

权利要求书

1.一种用于测量物体的表面的高度图的方法，所述方法包括：

使用具有覆盖个体分区的视场即FOV的光学轮廓仪来测量所述物体的表面的不同分区的高度图，其中各高度图包括高度数据；

将测量的高度图分组成高度图的不同集合，其中，在各集合内，该集合的高度图中的每一个高度图与该集合的至少一个其它高度图存在有效重叠，以及各高度图属于一个集合并且与另一集合的任何高度图不存在有效重叠；以及

在各集合内，将测量的高度图拼接为子合成拼接高度图，

其中，将测量的高度图分组成高度图的不同集合的步骤包括以下步骤：

(a)通过使各测量的高度图与索引相关联来对所有测量的高度图编索引；

(b)针对测量的高度图中的每一个测量的高度图，生成与同测量的高度图中的所述每一个测量的高度图共享有效重叠的其它测量的高度图相关联的索引列表；

(c)选择测量的高度图；

(d)将所选择的测量的高度图的索引列表中的各索引与所有其它测量的高度图的索引列表中的索引进行比较；

(e)在发现了所选择的测量的高度图的索引列表中的一个索引和另一测量的高度图的索引列表中的一个索引之间的一致的情况下，将所述另一测量的高度图的索引列表与所选择的测量的高度图的索引列表合并，并且丢弃所述另一测量的高度图的索引列表；

(f)在合并的索引列表中，搜索出现了多于一次的索引；

(g)在所述合并的索引列表中识别到出现了多于一次的索引的情况下，在所述合并的索引列表中保留该索引的一次出现，并且将该索引的所有其它出现从所述合并的索引列表中丢弃，以获得精简的合并的索引列表；以及

(h)对所有剩余的测量的高度图重复步骤(c)～(g)，

其中，各剩余的索引列表表示高度图的集合其中之一。

2.根据权利要求1所述的方法，在所述拼接的步骤之后，还包括：将所述子合成拼接高度图组合为合成高度图。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，将测量的高度图分组成高度图的不同集合的步骤包括：使集合的数量最小化。

4.一种用于测量物体的表面的高度图的方法，所述方法包括：

使用具有覆盖个体分区的视场即FOV的光学轮廓仪来测量所述物体的表面的不同分区的高度图，其中各高度图包括高度数据；

将测量的高度图分组成高度图的不同集合，其中，在各集合内，该集合的高度图中的每一个高度图与该集合的至少一个其它高度图存在有效重叠，以及各高度图属于一个集合并且与另一集合的任何高度图不存在有效重叠；以及

在各集合内，将测量的高度图拼接为子合成拼接高度图，

其中，各分区具有网格位置，以及各高度图包括相应分区的网格位置处的高度数据，并且其中：

-在要通过将各集合内的高度图拼接为子合成拼接高度图而仅校正重叠高度图之间的高度偏移的情况下，如果在所述重叠高度图中的每一个重叠高度图中在所述重叠高度图公共的至少一个网格位置处存在有效高度数据，则发生有效重叠，以及

-在要通过将各集合内的高度图拼接为子合成拼接高度图而校正重叠高度图之间的高度偏移和倾斜误差的情况下，如果在所述重叠高度图中的每一个重叠高度图中在所述重叠高度图公共的至少三个不同网格位置处存在有效高度数据，则发生有效重叠。

5.一种用于测量物体的表面的高度图的方法，所述方法包括：

使用具有覆盖个体分区的视场即FOV的光学轮廓仪来测量所述物体的表面的不同分区的高度图，其中各高度图包括高度数据；

将测量的高度图分组成高度图的不同集合，其中，在各集合内，该集合的高度图中的每一个高度图与该集合的至少一个其它高度图存在有效重叠，以及各高度图属于一个集合并且与另一集合的任何高度图不存在有效重叠；以及

在各集合内，将测量的高度图拼接为子合成拼接高度图，

其中，根据用以基于环境温度估计漂移的温度漂移模型数据来补偿子合成拼接高度图之间的高度偏移。