[发明专利]用于设计并制造喷头的设备、方法和系统

摘要

提供了一种用于生成喷头的3D形状数据的设备、一种制造喷头的方法和一种用于制造喷头的系统。所述设备包括：数据处理器，生成包括指示晶圆的上表面与喷头之间的第一距离的值的信息、指示晶圆上的位置的信息以及关于流体流动物理量值的信息的数据集，并且确定表示各个信息之间的关系的函数；输入单元，接收状况数据和每个位置的目标流体流动物理量值；以及数据库，存储关于所述函数的信息。数据处理器获得关于每个位置处的晶圆的上表面与喷头之间的具有目标流体流动物理量值的第二距离的信息，提取喷头的下表面的空间坐标信息，并且利用空间坐标信息生成喷头的3D形状数据。

主权项

1.一种用于生成喷头的三维形状数据的设备，所述设备包括：数据处理器，生成包括第一信息、第二信息和第三信息的多个数据集，并且通过利用所述多个数据集并通过统计方法来确定并识别表示第一信息、第二信息和第三信息之间的关系的函数，第一信息指示晶圆的上表面与喷头之间的第一距离的多个值，第二信息指示晶圆上的多个位置，第三信息是关于流体流动物理量值的信息；输入单元，接收状况数据和晶圆上的所述多个位置中的每个位置的目标流体流动物理量值，状况数据包括与具有喷头的设施有关的数值信息；以及数据库，存储关于所述函数的第四信息和关于先前的模拟结果的第五信息，其中，数据处理器基于第四信息和第五信息中的至少一个来获得关于晶圆上的所述多个位置中的每个位置处的晶圆的上表面与喷头之间的具有目标流体流动物理量值的第二距离的第六信息，利用第二信息和第六信息提取喷头的下表面的空间坐标信息，并且利用空间坐标信息生成喷头的三维形状数据。