[发明专利]用于设计并制造喷头的设备、方法和系统

权利要求书

1.一种用于生成喷头的三维形状数据的设备，所述设备包括：

数据处理器，生成包括第一信息、第二信息和第三信息的多个数据集，并且通过利用所述多个数据集并通过统计方法来确定并识别表示第一信息、第二信息和第三信息之间的关系的函数，第一信息指示晶圆的上表面与喷头之间的第一距离的多个值，第二信息指示晶圆上的多个位置，第三信息是关于流体流动物理量值的信息；

输入单元，接收状况数据和晶圆上的所述多个位置中的每个位置的目标流体流动物理量值，状况数据包括与具有喷头的设施有关的数值信息；以及

数据库，存储关于所述函数的第四信息和关于先前的模拟结果的第五信息，

其中，数据处理器基于第四信息和第五信息中的至少一个来获得关于晶圆上的所述多个位置中的每个位置处的晶圆的上表面与喷头之间的具有目标流体流动物理量值的第二距离的第六信息，利用第二信息和第六信息提取喷头的下表面的空间坐标信息，并且利用空间坐标信息生成喷头的三维形状数据，

其中，流体流动物理量值是根据第一距离的值和晶圆上的位置而变化的物理量值。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，第三信息包括针对晶圆的上表面与喷头之间的第一距离的所述多个值中的每个值在晶圆上的所述多个位置中的每个位置处测量的流体流动物理量值。

3.根据权利要求1所述的设备，其中，数据处理器识别表示在晶圆上的所述多个位置中的每个位置处测量的流体流动物理量值与晶圆的上表面和喷头之间的第一距离的所述多个值中的每个值之间的关系的函数。

4.根据权利要求1所述的设备，其中，输入单元在生成所述多个数据集之前接收状况数据。

5.根据权利要求4所述的设备，其中，数据处理器通过利用状况数据将针对晶圆的上表面与喷头之间的第一距离的所述多个值中的每个值在晶圆上的所述多个位置中的每个位置处测量的流体流动物理量值识别为第三信息。

6.根据权利要求5所述的设备，其中，状况数据包括第一数据、第二数据、第三数据、第四数据和第五数据中的至少一个，第一数据是与晶圆的上表面和喷头之间的第一距离的所述多个值中的每个值有关的数据，第二数据是关于引入腔室中的气体的数据，第三数据是关于喷头的数据，第四数据是关于晶圆上的所述多个位置的数据，第五数据是与流动分析模型有关的数据。

7.根据权利要求1所述的设备，其中，数据处理器利用空间坐标信息生成喷头的下表面的形状数据，并且利用预设厚度值在喷头的下表面的生成的形状数据中生成体积形状数据。

8.根据权利要求1所述的设备，其中，数据处理器还在生成的三维形状数据中生成多个喷淋孔。