[发明专利]一种高精度激光加工远心F-Theta扫描透镜在审
| 申请号： | 201910034362.5 | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN109633865A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 辜长明;朱国亮 | 申请（专利权）人： | 淄博海泰新光光学技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B13/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 255000 山东省淄博*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种激光加工应用中的远心F‑Theta扫描场镜。从激光入射方向开始，包括具有焦距f1的第一透镜L1、具有焦距f2的第二透镜L2、具有焦距f3的第三透镜L3、具有焦距f4的第四透镜L4、具有焦距f5的第五透镜L5、具有焦距f6的第六透镜L6，物镜总焦距为f。本发明的扫描场镜排布成“+‑‑+++”的光焦度分布，与现有技术相比，扫描场镜在保证严格F‑Theta线性前提下，全幅面光斑大小具有高度一致性并保持良好的会聚性。本发明F‑Theta镜头特别适用于高精度激光加工应用，如切割和钻孔。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 焦距 扫描场镜 高精度激光 远心 激光加工应用 激光入射方向 高度一致性 加工应用 扫描透镜 光斑 光焦度 会聚性 全幅面 总焦距 排布 物镜 钻孔 切割 镜头 加工 保证 | ||
【主权项】：
1.一种激光加工远心F‑Theta扫描场镜，其特征在于，从激光入射方向开始，包括具有焦距f1的第一透镜L1、具有焦距f2的第二透镜L2、具有焦距f3的第三透镜L3、具有焦距f4的第四透镜L4、具有焦距f5的第五透镜L5、具有焦距f6的第六透镜L6，其中所述的第一透镜L1为平凸或双凸或弯月正透镜，第二透镜L2为双凹负透镜，第三透镜L3为弯曲方向朝向场镜入瞳方向的弯月负透镜，第四透镜L4为弯曲方向朝向场镜入瞳方向的弯月正透镜，第五透镜L5为弯曲方向朝向场镜入瞳方向的弯月正透镜或平凸正透镜，第六透镜L6为双凸正透镜，物镜总焦距为f，物镜入瞳距为EPD，物镜后截距为BFL；其中焦距f1至f6与总焦距f之间的比率满足下列条件：+0.3<f1/f<+0.8，‑0.7<f2/f<‑0.3，‑2.8<f3/f<‑1.2，+2.0<f4/f<+2.8，+1.6<f5/f<+3.2，+2.6<f6/f<+4.2，1.1＜BFL/f＜1.6，0.1＜EPD/f＜0.5。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于淄博海泰新光光学技术有限公司，未经淄博海泰新光光学技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910034362.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
