[发明专利]一种高精度激光加工远心F-Theta扫描透镜在审

申请号：	201910034362.5	申请日：	2019-01-15
公开（公告）号：	CN109633865A	公开（公告）日：	2019-04-16
发明（设计）人：	辜长明;朱国亮	申请（专利权）人：	淄博海泰新光光学技术有限公司
主分类号：	G02B13/00	分类号：	G02B13/00;G02B13/22
代理公司：	暂无信息	代理人：	暂无信息
地址：	255000 山东省淄博***	国省代码：	山东;37
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摘要：
搜索关键词：	透镜焦距扫描场镜高精度激光远心激光加工应用激光入射方向高度一致性加工应用扫描透镜光斑光焦度会聚性全幅面总焦距排布物镜钻孔切割镜头加工保证
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【权利要求书】：

1.一种激光加工远心F-Theta扫描场镜，其特征在于，从激光入射方向开始，包括具有焦距f1的第一透镜L1、具有焦距f2的第二透镜L2、具有焦距f3的第三透镜L3、具有焦距f4的第四透镜L4、具有焦距f5的第五透镜L5、具有焦距f6的第六透镜L6，其中所述的第一透镜L1为平凸或双凸或弯月正透镜，第二透镜L2为双凹负透镜，第三透镜L3为弯曲方向朝向场镜入瞳方向的弯月负透镜，第四透镜L4为弯曲方向朝向场镜入瞳方向的弯月正透镜，第五透镜L5为弯曲方向朝向场镜入瞳方向的弯月正透镜或平凸正透镜，第六透镜L6为双凸正透镜，物镜总焦距为f，物镜入瞳距为EPD，物镜后截距为BFL；其中焦距f1至f6与总焦距f之间的比率满足下列条件：

+0.3<f1/f<+0.8，

-0.7<f2/f<-0.3，

-2.8<f3/f<-1.2，

+2.0<f4/f<+2.8，

+1.6<f5/f<+3.2，

+2.6<f6/f<+4.2，

1.1＜BFL/f＜1.6，

0.1＜EPD/f＜0.5。

2.如权利要求1所述的远心扫描透镜，优选地，其特征在于，

f1/f＝+0.6，f2/f＝-0.5，f3/f＝-2，f4/f＝+2.8，f5/f＝+2.4，f6/f＝+3.4； BFL/f=1.3，0.15＜EPD/f＜0.35。

3.根据权利要求2所述的一种激光远心F-Theta扫描场镜，其特征在于，所述的扫描透镜的全视场内相对畸变＜0.03%。

4.根据权利要求2所属的一种激光远心F-Theta扫描场镜，其特征还在于，所述的扫描场镜在±50μm焦深范围内，焦点光斑直径变化量＜20%。