[发明专利]一种高亮透明反光膜的真空蒸镀工艺在审
| 申请号： | 201910021975.5 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN109609913A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 刘思远 | 申请（专利权）人： | 合肥市辉耀真空材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/56;C23C14/06;G02B5/128 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高亮透明反光膜的真空蒸镀工艺，将被镀植株基膜装入蒸镀室，然后冷却滚筒进行低温冷却、在蒸发槽内放入排列有蒸镀靶材的钼舟，并保证每部分蒸镀靶材到中心主鼓底端的距离相同，将蒸发槽关闭盖板后送入蒸镀室，对蒸镀室抽取真空；将蒸镀靶材加热至熔点、汽化，打开蒸发槽盖板，控制被镀植株基膜在蒸镀室内匀速的移动，进行逐步蒸镀操作；蒸镀完成后关闭设备。本发明提供的高亮透明反光膜的真空蒸镀工艺，最终得到的反光膜的反光亮度远远高于普通透明反光膜的反光亮度，具备很好的反光效果，且表面轻薄透明，适合后期深加工处理，同时金属膜牢固不易脱落。 | ||
| 搜索关键词： | 透明反光膜 真空蒸镀工艺 蒸镀靶材 蒸镀室 蒸发槽 高亮 蒸镀 植株 盖板 反光 基膜 汽化 熔点 低温冷却 反光效果 关闭设备 冷却滚筒 反光膜 金属膜 深加工 轻薄 放入 主鼓 钼舟 加热 装入 抽取 送入 室内 透明 移动 保证 | ||
【主权项】：
1.一种高亮透明反光膜的真空蒸镀工艺，其特征在于：包括如下步骤：(1)将被镀植株基膜装入一台高真空镀膜设备中的卷绕室内的两个收放卷辊上，让被镀植株基膜从其中的一个收放卷辊经中心主鼓，收卷到另一个收放卷辊上，启动强制冷系统，接通气路；(2)在高真空镀膜设备的蒸发槽内放入多个紧密排列有蒸镀靶材的钼舟，并保证每部分蒸镀靶材到中心主鼓底端的距离相等，然后将钼舟的两个电极端与蒸发槽的铜柱电极相连；(3)将上述蒸发槽关闭盖板后送入蒸镀室，并关闭舱门，保证蒸镀室处于密闭状态，然后开启抽取真空设备，对蒸镀室抽取真空；(4)接通蒸发槽电源，将蒸镀靶材加热至熔点、汽化，打开蒸发槽盖板；(5)开动卷绕系统，进入正常的蒸镀状态，然后控制被镀植株基膜在蒸镀室内匀速的移动，进行逐步蒸镀操作；(6)蒸镀完成后，关卷绕系统，再关闭蒸发槽电源，最后关抽取真空设备，回温，平衡大气压，开舱即可。
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