[发明专利]基于全光光场计算的圆柱体外表面检测装置在审
申请号: | 201910021566.5 | 申请日: | 2019-01-10 |
公开(公告)号: | CN111426285A | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 高秀敏;张庆立 | 申请(专利权)人: | 上海明念激光科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200082 上海市杨浦区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于全光光场计算的圆柱体外表面检测装置,包括被检测圆柱模块,照射模块,成像模块、全光光场减法模块、探测器模块。相干照明光源出射光束经照明光束整形器后分成两束平行光,平行光束经光束偏折器件偏折到被检测圆柱体表面上,经圆柱体表面反射或者折射的光经成像部件以及光束合成器正好将光所成的图像整合到全光光场减法部件的入瞳处,使之后续能有效的进行全光光场的减法过程,提供了利用全光光场方法进行圆柱体表面信息检测的基础,从入瞳进入的像经对正弦光栅的调整使像与孔产生相位差π,最后探测器检测全光光场减法部件的出瞳出的像转化为以曲线形式输出,实现了在生产过程中能对无限长的圆柱体表面缺陷信息的准确提取,高效可靠且能实时检测。 | ||
搜索关键词: | 基于 光光 计算 圆柱 体外 表面 检测 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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