[发明专利]基于全光光场计算的圆柱体外表面检测装置

权利要求书

1.一种基于全光光场计算的圆柱体外表面检测装置，包括相干照明光源(1)、照明光束整形器(2)、第一光束偏折部件(3)、第二光束偏折部件(4)、圆柱体(5)、第一成像部件(6)和第二成像部件(7)、光束合成器(8)、全光光场减法部件(9)、探测器(10)，其特征在于：所述圆柱体(5)包括被检测区域(501)、被检测区域(502)；所述全光光场减法部件(9)由入瞳(901)和入瞳(902)、凸透镜(903)、正弦光栅(904)、凸透镜(905)组成；经由第一光束偏折器件(3)和第二光束偏折器件(4)偏折的光分别照射到(501)和(502)的圆柱体外表面被检测区域。光束合成器(8)将光正好合成到全光光场减法部件(9)的入瞳(901)处，经(901)入瞳的光束经过凸透镜(903)和正弦光栅(904)，再经由凸透镜(905)聚焦到全光光场减法的出瞳处。

2.根据权利要求1所述的基于全光光场计算的圆柱体外表面检测装置，其特征在于：所述的照明光源(1)为相干照明光源。

3.根据权利要求1所述的基于全光光场计算的圆柱体外表面检测装置，其特征在于：所述的全光光场减法部件(9)中的光栅(904)为正弦光栅。

4.根据权利要求1所述的基于全光光场计算的圆柱体外表面检测装置，其特征在于：所述探测器(10)将圆柱体表面缺陷信息单点传感，以曲线的形式输出。

5.根据权利要求1所述的基于全光光场计算的圆柱体外表面检测装置，其特征在于：所述的被检测圆柱体(5)的被检测区域(501)与(502)包含圆柱体检测装置的1/2区域。