[发明专利]多层相变薄膜及制备方法和应用有效
| 申请号： | 201910020336.7 | 申请日： | 2019-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN109860388B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 胡益丰;郭璇;张锐;尤海鹏;朱小芹;邹华 | 申请（专利权）人： | 江苏理工学院 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;H01L21/02;H01L51/00;C08L33/20 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 张文杰 |
| 地址： | 213001 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明属于薄膜材料技术领域，为了解决目前的薄膜材料相变速度慢和稳定性差的问题，本发明公开了一种多层相变薄膜及制备方法和应用，其中，所述的多层相变薄膜包括交替层叠的单层(C |
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| 搜索关键词： | 多层 相变 薄膜 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种多层相变薄膜，其特征在于，所述的多层相变薄膜包括交替层叠的单层(C3H3N)n薄膜层和单层Sn27Sb73薄膜层，所述的单层(C3H3N)n薄膜层的厚度为10‑200nm，所述的单层Sn27Sb73薄膜层的厚度为10‑200nm，所述的多层相变薄膜总厚度为150‑250nm。
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