[发明专利]一种激光扫描装置及其方法在审

专利信息
申请号: 201910014824.7 申请日: 2019-01-08
公开(公告)号: CN109623159A 公开(公告)日: 2019-04-16
发明(设计)人: 王昌焱;谢圣君;徐新峰;房用桥;李士杰;范吉鹏;孙左峰;万柯;汤治飞;汤华斌;范祥鑫;刘振强;谢飞;潘明铮;吕启涛;高云峰 申请(专利权)人: 大族激光科技产业集团股份有限公司
主分类号: B23K26/362 分类号: B23K26/362;B23K26/04
代理公司: 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 代理人: 袁文英
地址: 518000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种激光扫描装置,该装置包括底座、可调节高度的升降单元、激光单元、光路传导系统和振镜扫描系统,升降单元固定在底座上,激光单元固定在升降单元的上方,光路传导系统和振镜扫描系统分别与升降单元固定连接,激光单元包括至少两个激光器,振镜扫描系统包括与激光器数量相同的振镜,激光器通过光路传导系统与振镜进行一对一光路连接。一方面,该装置设置有多个激光器,多个激光器可同时工作,加快了激光标刻的速度,另一方面,该装置可通过调节升降单元的高度而调节高能激光束的焦点位置,使玻璃板上的薄膜快速汽化,快速完成刻蚀而不影响下方的物体。
搜索关键词: 升降单元 激光器 光路传导系统 振镜扫描系统 激光单元 激光扫描装置 振镜 底座 玻璃板 高能激光束 光路连接 激光标刻 焦点位置 快速汽化 装置设置 可调节 刻蚀 一对一 薄膜
【主权项】:
1.一种激光扫描装置,其特征在于,所述装置包括:底座、可调节高度的升降单元、激光单元、光路传导系统和振镜扫描系统;所述升降单元固定在底座上,所述激光单元固定在所述升降单元的上方,所述光路传导系统和振镜扫描系统分别与所述升降单元固定连接;所述激光单元包括至少两个激光器,所述振镜扫描系统包括与所述激光器的数量相同的振镜;所述激光器通过所述光路传导系统与所述振镜进行一对一的光路连接。
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