[发明专利]一种激光扫描装置及其方法在审

专利信息
申请号: 201910014824.7 申请日: 2019-01-08
公开(公告)号: CN109623159A 公开(公告)日: 2019-04-16
发明(设计)人: 王昌焱;谢圣君;徐新峰;房用桥;李士杰;范吉鹏;孙左峰;万柯;汤治飞;汤华斌;范祥鑫;刘振强;谢飞;潘明铮;吕启涛;高云峰 申请(专利权)人: 大族激光科技产业集团股份有限公司
主分类号: B23K26/362 分类号: B23K26/362;B23K26/04
代理公司: 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 代理人: 袁文英
地址: 518000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 升降单元 激光器 光路传导系统 振镜扫描系统 激光单元 激光扫描装置 振镜 底座 玻璃板 高能激光束 光路连接 激光标刻 焦点位置 快速汽化 装置设置 可调节 刻蚀 一对一 薄膜
【权利要求书】:

1.一种激光扫描装置,其特征在于,所述装置包括:底座、可调节高度的升降单元、激光单元、光路传导系统和振镜扫描系统;

所述升降单元固定在底座上,所述激光单元固定在所述升降单元的上方,所述光路传导系统和振镜扫描系统分别与所述升降单元固定连接;

所述激光单元包括至少两个激光器,所述振镜扫描系统包括与所述激光器的数量相同的振镜;

所述激光器通过所述光路传导系统与所述振镜进行一对一的光路连接。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述升降单元包括滑块单元和固定组件;

所述滑块单元包括第一滑块单元、第二滑块单元和第三滑块单元,所述第一滑块单元设置的方向为水平方向,所述第二滑块单元设置的方向为倾斜方向,所述第三滑块单元设置的方向为竖直方向;

所述固定组件包括:下斜块、上斜块和导向块,所述下斜块包括水平的下底面和倾斜的上底面,所述上斜块包括竖直的侧面和倾斜的下底面,所述导向块包括竖直的侧面;

所述下斜块的下底面通过所述第一滑块单元与所述底座连接,所述上斜块的下底面通过所述第二滑块单元与所述下斜块的上底面连接,所述导向块的侧面通过所述第三滑块单元与所述上斜块的侧面连接,所述导向块固定在所述底座上。

3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述装置还包括电机组件,所述电机组件连接所述下斜块。

4.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,所述第一滑块单元包括第一导轨和第一滑块,所述第一导轨水平设置在所述底座的上方,所述第一滑块设置在所述第一导轨上,所述第一滑块还固定在所述下斜块的下底面;

所述第二滑块单元包括第二导轨和第二滑块,所述第二滑块设置在所述第二导轨上,所述第二导轨设置在所述下斜块的上底面,所述第二滑块固定在所述上斜块的下底面;

所述第三滑块单元包括第三导轨和第三滑块,所述第三滑块设置在所述第三导轨上,所述第三导轨设置在所述导向块的侧面,所述第三滑块固定在所述下斜块的侧面。

5.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,所述激光单元还包括光路底板,所述激光器通过所述光路底板固定在所述升降单元的上方。

6.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,所述光路底板固定在所述上斜块的上底面。

7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述光路传导系统包括:多条激光传输通道和支撑装置;

所述激光传输通道通过所述支撑装置固定在所述光路底板上;

所述多条激光传输通道中每一条激光传输通道对应一个激光器与一个振镜;

所述激光传输通道的入口与所述激光器激光出口光路连接,所述激光传输通道的出口与所述振镜光路连接。

8.根据权利要求7所述的装置,其特征在于,所述激光传输通道包括:第一折光腔和第二折光腔;

所述第一折光腔与所述第二折光腔光路连接;

所述支撑装置包括:第一折光腔支撑座、第二折光腔支撑座和连接板;

所述第一折光腔支撑座固定在所述光路底板上,所述第二折光腔支撑座通过所述连接板连接所述第一折光腔支撑座;

所述第一折光腔固定在所述第一折光腔支撑座上,所述第二折光腔固定在所述第二折光腔支撑座上。

9.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述振镜扫描系统包括振镜固定装置和振镜,所述振镜固定装置将所述振镜固定在所述光路底板上。

10.一种激光扫描方法,应用于权利要求1至9任意一项所述的激光扫描装置,其特征在于,所述方法包括:

所述激光单元产生激光,所述激光通过所述光路传导系统传输至所述振镜扫描系统的振镜中;

调节所述升降单元的高度,以调节所述振镜中输出激光的聚焦位置。

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