[发明专利]MEMS红外探测微镜、装置及探测方法在审
| 申请号： | 201910014361.4 | 申请日： | 2019-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN109813436A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 汪际军 | 申请（专利权）人： | 全普光电科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00;G01J5/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200000 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种本发明的MEMS红外探测微镜、装置及探测方法，利用红外发射单元发射红外光线，利用MEMS图像扫描单元获取物体的图像信息数据。其中，图像扫描单元采用的MEMS扫描微镜芯片上集成了红外发射单元、图像获取单元，可以伴随着反射镜沿扭臂的摆动而向外界发出红外光束或接受外界的反射的红外光束，利用反射镜的摆动来实现大量像素的快速生成，从而确保了在实时传输过程中生成的动态红外温度图像的分辨率和清晰度；同时实现动态发光，提高发光均匀性，提高图像探测扫描速率，降低光能损耗，提高图像亮度和分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 红外发射单元 图像扫描单元 红外光束 红外探测 反射镜 分辨率 摆动 微镜 探测 图像获取单元 图像信息数据 发光均匀性 动态发光 光能损耗 红外光线 快速生成 扫描微镜 实时传输 图像探测 温度图像 扭臂 像素 反射 扫描 芯片 图像 发射 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS红外探测微镜，其特征在于，包括：MEMS扫描微镜芯片，包含反射镜；反射镜悬浮在整个芯片中；红外发射单元，设置于反射镜中，用于向外界发射光束；其中，MEMS扫描微镜沿着扭臂进行摆动，每摆动一次，红外发射单元随之摆动并发射出随之摆动的红外光束，从而实现动态发光；所述红外光束达到外界物体并反射回来，所述反射镜同时接收反射回来的红外光束；图像获取单元，设置于反射镜中，用于获取外界的反射回来的红外光束，并生成红外图像信息；并且与外界电路元件相电连，通过外界电路元件来反馈图像信息数据；其中，MEMS扫描微镜沿着扭臂进行摆动，每摆动一次，接收外界的反射回来的红外光束一次。
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