[发明专利]MEMS红外探测微镜、装置及探测方法

说明书

本发明提供了一种本发明的MEMS红外探测微镜、装置及探测方法，利用红外发射单元发射红外光线，利用MEMS图像扫描单元获取物体的图像信息数据。其中，图像扫描单元采用的MEMS扫描微镜芯片上集成了红外发射单元、图像获取单元，可以伴随着反射镜沿扭臂的摆动而向外界发出红外光束或接受外界的反射的红外光束，利用反射镜的摆动来实现大量像素的快速生成，从而确保了在实时传输过程中生成的动态红外温度图像的分辨率和清晰度；同时实现动态发光，提高发光均匀性，提高图像探测扫描速率，降低光能损耗，提高图像亮度和分辨率。

技术领域

本发明涉及图像获取技术领域，具体涉及一种MEMS红外探测微镜、装置及探测方法。

背景技术

现有的各种图像获取装置，一般采用光源输出，反射镜反射，在于反射镜不同个光路上，采用图像获取器件获取物体反射光束信号。由于图像获取器件与反射镜相分离，导致光束能量消耗，信号失真。而且，所得到的图像获取装置体积较大，不利于小型化和轻薄化。

随着人们生活水平的提高和科技的进步，各种电子设备越来越倾向于小型化和轻薄化，便于携带。而且对于获取的图像质量要求越来越高，对于图像的获取速度和传输速度也迫切要求提高。

因此，顺应时代的要求，研究轻薄化且快速获取高质量的图像装置技术是非常重要的。

此外，红外温度图像的生成往往需要更加精准的大量的数据，目前的红外温度图像生成包括静态红外温度图像和动态红外温度图像。动态红外温度图像的生成难度比较大，而且容易出现失真和清晰度差的问题。如何能够提高红外温度图像的生成速率和分辨率，提高实时传输时的红外温度图像效果，是十分重要的。

发明内容

为了克服以上问题，本发明旨在提供一种MEMS红外探测微镜，利用MEMS扫描微镜上集成红外发射单元和图像获取单元，实现图像的快速扫描和获取。

为了达到上述目的，本发明提供了一种MEMS红外探测微镜，包括：

MEMS扫描微镜芯片，包含反射镜；反射镜悬浮在整个芯片中；

红外发射单元，设置于反射镜中，用于向外界发射光束；其中，MEMS扫描微镜沿着扭臂进行摆动，每摆动一次，红外发射单元随之摆动并发射出随之摆动的红外光束，从而实现动态发光；所述红外光束达到外界物体并反射回来，所述反射镜同时接收反射回来的红外光束；

图像获取单元，设置于反射镜中，用于获取外界的反射回来的红外光束，并生成红外图像信息；并且与外界电路元件相电连，通过外界电路元件来反馈图像信息数据；其中，MEMS扫描微镜沿着扭臂进行摆动，每摆动一次，接收外界的反射回来的红外光束一次。

优选地，所述反射镜通过磁场悬浮在整个芯片中；或者所述MEMS扫描微镜芯片还具有扭臂；所述反射镜通过扭臂悬架在整个芯片中。

优选地，还包括：计算单元；根据红外图像信息数据进行计算得到温度图像信息数据。

优选地，还包括传输接口，用于将温度图像信息数据传输到外界电路单元；所述红外光源为红外激光光源；所述传输接口为USB接口。

优选地，所述图形获取单元为白光图像传感器、红外图像传感器或二者混合图像传感器。

优选地，所述图像获取单元中设置无线通讯模块；所述图像获取单元通过无线通讯信号与外界电路元件相电连。

优选地，所述图像获取单元连接有传输电路，传输电路与所述扭臂相复合，利用传输扭臂提供的路径与外界电路元件相连。

优选地，所述芯片具有沟槽，所述扫描微镜置于所述沟槽中，并且通过扭臂连接所述扫描微镜外围的芯片部分；所述扫描微镜通过扭臂进行扭转。